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發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領(lǐng)域,濕法設(shè)備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展,濕法設(shè)備已經(jīng)成為L(zhǎng)ED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目需求的全自動(dòng)濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)成套設(shè)備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺(tái)圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測(cè)試。 CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應(yīng)用領(lǐng)域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進(jìn)封裝等專有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動(dòng)傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點(diǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨(dú)立密封,具有多種功能可實(shí)現(xiàn)晶圓干進(jìn)干出采用工控機(jī)控制,功能強(qiáng)大,操作簡(jiǎn)便可根據(jù)用戶要求提供個(gè)性化解決方案設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 126xa.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(126xa.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)清洗設(shè)備解決方案。
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺(tái)結(jié)合微組裝工藝對(duì)鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應(yīng)用要求等特點(diǎn),在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個(gè)部分組成,一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導(dǎo)線電刷、N2 保護(hù)單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體,二為三角形槽體、陽(yáng)極和電力線擋板組成的陽(yáng)極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下:從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應(yīng)用分析可以看出,采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢(shì)。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實(shí)現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護(hù)功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使槽內(nèi)電場(chǎng)不均問(wèn)題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進(jìn)行鍍液噴射,實(shí)現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來(lái)的影響。五是采用三角形鍍槽設(shè)計(jì)最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢(shì)斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu),鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場(chǎng)環(huán)境。通過(guò)進(jìn)行相關(guān)模擬、仿真和驗(yàn)證,鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu),可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場(chǎng)。從而通過(guò)改變流場(chǎng)的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點(diǎn)可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進(jìn)行晶圓電鍍工藝處理,由于結(jié)構(gòu)上的特點(diǎn),該方法經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證具有:①結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應(yīng)于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時(shí)可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應(yīng)用,產(chǎn)品已通過(guò)技術(shù)定型鑒定和用戶驗(yàn)收。實(shí)現(xiàn)的主要工藝指標(biāo):最...
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機(jī)1. 應(yīng)用范圍:l 本機(jī)臺(tái)適用於半導(dǎo)體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺(tái),可同Run 50片.l 可對(duì)旋乾步驟進(jìn)行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設(shè)備已超過(guò)20年以上的應(yīng)用馬達(dá)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì), 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計(jì), 震動(dòng)值均控制於300 um 以下.l 高潔淨(jìng)設(shè)計(jì),微塵控制於每次運(yùn)轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機(jī)臺(tái)內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達(dá): DC無(wú)刷馬達(dá)750Wl 真空負(fù)壓軸封設(shè)計(jì),隔離槽外污染l 不銹鋼N2過(guò)濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測(cè)保護(hù)(加熱器空燒保護(hù))l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開(kāi)關(guān)90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動(dòng)態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂(lè)故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動(dòng)異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機(jī)+ PLC可程式自動(dòng)化控制器(人機(jī) Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲(chǔ)存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?#216; 儲(chǔ)存能力記憶模組...
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機(jī)-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長(zhǎng):?jiǎn)纹角逑囱b置的優(yōu)點(diǎn)(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對(duì)應(yīng))例:附著粒子數(shù)…10個(gè)/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個(gè)/W2.藥液純水的消費(fèi)量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個(gè)客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強(qiáng)制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問(wèn)題   更多的半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體清洗解決方案。
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 03 - 07
自動(dòng)供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng) 適用對(duì)象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng)設(shè)備型號(hào)CSE-CDS-N1507設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡(jiǎn)稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房?jī)?nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說(shuō)明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過(guò)濾器:配有10” PFA材質(zhì)過(guò)濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開(kāi)關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測(cè)器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶(自動(dòng)切換)、配兩臺(tái)泵(一用一備)、帶過(guò)濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動(dòng)化與親和力。在...
發(fā)布時(shí)間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機(jī)-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動(dòng)單片式腐蝕清洗機(jī)應(yīng)用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進(jìn)封裝等  設(shè) 備 名 稱CSE-單片清洗機(jī)類  型單片式適 用 領(lǐng) 域半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設(shè)備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時(shí)間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點(diǎn)1、單片處理時(shí)間短(相較于槽式清洗機(jī))2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠(yuǎn)低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu),占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體官網(wǎng),關(guān)注http://126xa.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動(dòng)供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對(duì)象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設(shè)備型號(hào)CSE-CDS-N2601設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡(jiǎn)稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房?jī)?nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說(shuō)明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過(guò)濾器:配有10” PFA材質(zhì)過(guò)濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開(kāi)關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測(cè)器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶(自動(dòng)切換)、配兩臺(tái)泵(一用一備)、帶過(guò)濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動(dòng)化...
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用于生物傳感應(yīng)用的納米材料

時(shí)間: 2021-02-26
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生物傳感器裝置由其生物或受生物啟發(fā)的受體單元定義,對(duì)相應(yīng)的分析物具有獨(dú)特的特異性。這些分析物通常具有生物學(xué)起源,例如細(xì)菌或病毒的DNA或從被感染或受污染的生物體的免疫系統(tǒng)(抗體,抗原)產(chǎn)生的蛋白質(zhì)。當(dāng)具有特定特異性的生物受體單元可用時(shí),此類分析物也可以是簡(jiǎn)單的分子,例如葡萄糖或污染物。生物傳感器開(kāi)發(fā)中的許多其他挑戰(zhàn)之一是生物識(shí)別事件(轉(zhuǎn)導(dǎo))的有效信號(hào)捕獲。這種換能器將分析物與生物元素的相互作用轉(zhuǎn)化為電化學(xué),電化學(xué)發(fā)光,磁,重量或光學(xué)信號(hào)。為了增加靈敏度并降低甚至單個(gè)分子的檢測(cè)限,納米材料是有希望的候選物,因?yàn)樗锌赡芤詼p小的體積固定增加量的生物受體單元,甚至自身充當(dāng)轉(zhuǎn)導(dǎo)元件。在此類納米材料中,對(duì)金納米顆粒,半導(dǎo)體量子點(diǎn),聚合物納米顆粒,碳納米管,納米金剛石和石墨烯進(jìn)行了深入研究。由于該研究領(lǐng)域的巨大發(fā)展,本文以非窮盡的方式總結(jié)了納米材料的優(yōu)勢(shì),重點(diǎn)關(guān)注的是納米物體,這些物體比“僅僅”增加表面積提供了更多的有益特性。納米材料是有希望的候選物,因?yàn)樗锌赡芤詼p小的體積固定更多數(shù)量的生物受體單元,甚至可以自己充當(dāng)轉(zhuǎn)導(dǎo)元件。在此類納米材料中,對(duì)金納米顆粒,半導(dǎo)體量子點(diǎn),聚合物納米顆粒,碳納米管,納米金剛石和石墨烯進(jìn)行了深入研究。由于該研究領(lǐng)域的巨大發(fā)展,本文以非窮盡的方式總結(jié)了納米材料的優(yōu)勢(shì),重點(diǎn)關(guān)注的是納米物體,這些物體比“僅僅”增加表面積提供了更多的有益特性。納米材料是有希望的候選物,因?yàn)樗锌赡芤詼p小的體積固定更多數(shù)量的生物受體單元,甚至可以自己充當(dāng)轉(zhuǎn)導(dǎo)元件。在此類納米材料中,對(duì)金納米顆粒,半導(dǎo)體量子點(diǎn),聚合物納米顆粒,碳納米管,納米金剛石和石墨烯進(jìn)行了深入研究。由于該研究領(lǐng)域的巨大發(fā)展,本文以非窮盡的方式總結(jié)了納米材料的優(yōu)勢(shì),重點(diǎn)關(guān)注的是納米物體,這些物體比“僅僅”增加表面積提供了更多的有益特性。

介紹

像在許多不同的技術(shù)領(lǐng)域一樣,納米材料已經(jīng)證明了其在生物傳感應(yīng)用中的適用性。此類納米物體的智能使用顯著提高了性能,同時(shí)提高了靈敏度并降低了幾個(gè)數(shù)量級(jí)的檢測(cè)極限。所有納米材料的一個(gè)普遍優(yōu)勢(shì)是高比表面,因此已經(jīng)能夠固定數(shù)量增加的生物受體單元。然而,持續(xù)的挑戰(zhàn)之一是用于將生物特異性實(shí)體緊密結(jié)合到此類納米材料上的固定策略。因此,用于固定酶的技術(shù)是開(kāi)發(fā)可靠的生物傳感器的關(guān)鍵因素之一。

在參考文獻(xiàn)中總結(jié)了納米材料生物功能化的有效方法(PutzbachRonkainen,2013年)。簡(jiǎn)而言之,非共價(jià)方法代表了納米材料與生物實(shí)體之間的靜電相互作用,π-π堆積,聚合物中的陷獲或范德華力。這些原則保留了納米材料和生物分子的所有特定特性。

共價(jià)結(jié)合:將共價(jià)生物分子附著到納米材料上的策略在表面功能化的穩(wěn)定性和可重復(fù)性方面具有優(yōu)勢(shì),并降低了非特異性的物理吸附。共價(jià)鍵可以例如通過(guò)經(jīng)典的酰胺偶聯(lián)反應(yīng),交聯(lián)或點(diǎn)擊化學(xué)形成。一個(gè)缺點(diǎn)是生物分子的不受控制的錨定會(huì)影響負(fù)責(zé)識(shí)別事件的域。

通過(guò)超分子或配位相互作用固定生物分子:這項(xiàng)技術(shù)近年來(lái)在將生物物種結(jié)合到表面上已獲得廣泛認(rèn)可。在生物傳感器工程領(lǐng)域中使用的最著名的例子是生物素/抗生物素蛋白(或抗生蛋白鏈菌素)系統(tǒng)(Wilchek and Bayer1988)。生物素化的生物分子可以通過(guò)親和素(或抗生蛋白鏈菌素)橋連接到生物素化的底物。已經(jīng)報(bào)道了其他親和系統(tǒng),如次氮基三乙酸(NTA/ Cu 2+ /組氨酸復(fù)合物(Haddour等,2005)或宿主-客體系統(tǒng)金剛烷/β-環(huán)糊精(Holzinger等,2009)。)。與其他固定方法相比,此類系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)是可逆性,從而可以重新生成換能器元件。此外,所有功能部件(例如功能化換能器表面和修飾的生物受體)都可以單獨(dú)表征,以確保所構(gòu)建生物傳感器的可重復(fù)性。

根據(jù)化學(xué)成分,幾乎所有的納米材料都可以通過(guò)直接官能化(在某些情況下已經(jīng)在合成過(guò)程中)或通過(guò)涂覆功能性聚合物而不影響其特定性能而具備適當(dāng)?shù)墓δ埽?/span>Biju,2014年)。這種功能化不僅允許生物受體單元的可再現(xiàn)固定,而且還可以提高這些材料的生物相容性。

生物傳感設(shè)備中的一個(gè)特殊問(wèn)題是識(shí)別事件無(wú)法通過(guò)使用的轉(zhuǎn)導(dǎo)技術(shù)直接檢測(cè)到。親和性生物傳感器就是這種情況,例如抗原與其抗體之間的免疫反應(yīng)或相應(yīng)的DNA鏈雜交。在此,必須使用經(jīng)過(guò)標(biāo)記修飾的其他生物特異性成分(二級(jí)抗體或DNA鏈),以進(jìn)行光學(xué)或電化學(xué)轉(zhuǎn)導(dǎo)。某些納米材料的特定特性顯然有助于“無(wú)標(biāo)記”轉(zhuǎn)導(dǎo)技術(shù)的發(fā)展,或者在用作標(biāo)記時(shí)有助于清晰的信號(hào)放大。

金納米顆粒

在貴金屬納米粒子組中,金納米粒子由于其生物相容性,其光學(xué)和電子特性以及相對(duì)簡(jiǎn)單的生產(chǎn)和修飾而最常用于生物傳感器應(yīng)用(Li等,2010a)(Biju,2014年)。

特別令人感興趣的是金表面的光學(xué)行為,其中一種特定波長(zhǎng)的光照射會(huì)引起導(dǎo)帶中電子的振蕩,這被稱為共振表面等離子體激元。當(dāng)粒徑遠(yuǎn)小于入射波長(zhǎng)時(shí),振蕩電子將無(wú)法沿表面?zhèn)鞑ィ拖窠?jīng)典表面等離子體共振(SPR)裝置那樣。然后,電子密度在粒子的一側(cè)極化,在該一側(cè),等離子體激元與光頻率發(fā)生共振振蕩(圖1)。這種現(xiàn)象用米氏理論(Mulvaney,1996;Hao等,2004)描述,并且強(qiáng)烈依賴于納米粒子的大小,形狀和環(huán)境的介電常數(shù)(Kelly等,2002)。這種環(huán)境依賴性對(duì)于(生物)分析而言是一個(gè)巨大的優(yōu)勢(shì),因?yàn)樽R(shí)別事件可能導(dǎo)致振蕩頻率發(fā)生變化,從而導(dǎo)致肉眼可觀察到的金納米顆粒的顏色發(fā)生變化。在這種情況下,開(kāi)發(fā)了一系列有效的比色生物傳感器用于DNA或寡核苷酸檢測(cè)或免疫傳感器(Reynolds等,2000;Oldenburg等,2002;LiuLu2004;Xu等,2009)。

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