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始于90年代末

濕法制程整體解決方案提供商

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發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領(lǐng)域,濕法設(shè)備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展,濕法設(shè)備已經(jīng)成為L(zhǎng)ED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目需求的全自動(dòng)濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)成套設(shè)備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺(tái)圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測(cè)試。 CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備 設(shè)備名稱(chēng)華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應(yīng)用領(lǐng)域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進(jìn)封裝等專(zhuān)有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動(dòng)傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點(diǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨(dú)立密封,具有多種功能可實(shí)現(xiàn)晶圓干進(jìn)干出采用工控機(jī)控制,功能強(qiáng)大,操作簡(jiǎn)便可根據(jù)用戶要求提供個(gè)性化解決方案設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 126xa.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(126xa.cn),現(xiàn)在熱線咨詢(xún)400-8798-096可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)清洗設(shè)備解決方案。
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺(tái)結(jié)合微組裝工藝對(duì)鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應(yīng)用要求等特點(diǎn),在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個(gè)部分組成,一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導(dǎo)線電刷、N2 保護(hù)單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體,二為三角形槽體、陽(yáng)極和電力線擋板組成的陽(yáng)極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下:從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應(yīng)用分析可以看出,采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢(shì)。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實(shí)現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護(hù)功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使槽內(nèi)電場(chǎng)不均問(wèn)題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進(jìn)行鍍液噴射,實(shí)現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來(lái)的影響。五是采用三角形鍍槽設(shè)計(jì)最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢(shì)斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu),鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場(chǎng)環(huán)境。通過(guò)進(jìn)行相關(guān)模擬、仿真和驗(yàn)證,鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu),可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場(chǎng)。從而通過(guò)改變流場(chǎng)的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點(diǎn)可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進(jìn)行晶圓電鍍工藝處理,由于結(jié)構(gòu)上的特點(diǎn),該方法經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證具有:①結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應(yīng)于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時(shí)可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應(yīng)用,產(chǎn)品已通過(guò)技術(shù)定型鑒定和用戶驗(yàn)收。實(shí)現(xiàn)的主要工藝指標(biāo):最...
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機(jī)1. 應(yīng)用范圍:l 本機(jī)臺(tái)適用於半導(dǎo)體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺(tái),可同Run 50片.l 可對(duì)旋乾步驟進(jìn)行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設(shè)備已超過(guò)20年以上的應(yīng)用馬達(dá)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì), 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計(jì), 震動(dòng)值均控制於300 um 以下.l 高潔淨(jìng)設(shè)計(jì),微塵控制於每次運(yùn)轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機(jī)臺(tái)內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達(dá): DC無(wú)刷馬達(dá)750Wl 真空負(fù)壓軸封設(shè)計(jì),隔離槽外污染l 不銹鋼N2過(guò)濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測(cè)保護(hù)(加熱器空燒保護(hù))l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開(kāi)關(guān)90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動(dòng)態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂(lè)故障碼功能: 門(mén)鎖警告,氣體不足,傳動(dòng)異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機(jī)+ PLC可程式自動(dòng)化控制器(人機(jī) Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲(chǔ)存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?#216; 儲(chǔ)存能力記憶模組...
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機(jī)-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長(zhǎng):?jiǎn)纹角逑囱b置的優(yōu)點(diǎn)(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對(duì)應(yīng))例:附著粒子數(shù)…10個(gè)/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個(gè)/W2.藥液純水的消費(fèi)量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個(gè)客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強(qiáng)制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問(wèn)題   更多的半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢(xún)400-8768-096;18913575037可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體清洗解決方案。
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 03 - 07
自動(dòng)供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng) 適用對(duì)象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式設(shè)備名稱(chēng)華林科納(江蘇)CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng)設(shè)備型號(hào)CSE-CDS-N1507設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡(jiǎn)稱(chēng):CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房?jī)?nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說(shuō)明(酸堿類(lèi)):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過(guò)濾器:配有10” PFA材質(zhì)過(guò)濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類(lèi)采用一般型靜電容近接開(kāi)關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測(cè)器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶(自動(dòng)切換)、配兩臺(tái)泵(一用一備)、帶過(guò)濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動(dòng)化與親和力。在...
發(fā)布時(shí)間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機(jī)-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動(dòng)單片式腐蝕清洗機(jī)應(yīng)用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進(jìn)封裝等  設(shè) 備 名 稱(chēng)CSE-單片清洗機(jī)類(lèi)  型單片式適 用 領(lǐng) 域半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設(shè)備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時(shí)間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點(diǎn)1、單片處理時(shí)間短(相較于槽式清洗機(jī))2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠(yuǎn)低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu),占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體官網(wǎng),關(guān)注http://126xa.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動(dòng)供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對(duì)象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能。控制模式:手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式 設(shè)備名稱(chēng)華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設(shè)備型號(hào)CSE-CDS-N2601設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡(jiǎn)稱(chēng):CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房?jī)?nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說(shuō)明(酸堿類(lèi)):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過(guò)濾器:配有10” PFA材質(zhì)過(guò)濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類(lèi)采用一般型靜電容近接開(kāi)關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測(cè)器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶(自動(dòng)切換)、配兩臺(tái)泵(一用一備)、帶過(guò)濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動(dòng)化...
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LCD液晶原理大剖析

時(shí)間: 2016-03-23
點(diǎn)擊次數(shù): 144

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?????? LCD(LiquidCrystalDisplay)對(duì)于許多的用戶而言可能已經(jīng)不是一個(gè)新鮮的名詞,不過(guò)這種技術(shù)存在的歷史可能遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了我們的想象――在1888年,一位奧地利的植物學(xué)家F.Renitzer便發(fā)現(xiàn)了液晶特殊的物理特性。?
?????? 在85年之后,這一發(fā)現(xiàn)才產(chǎn)生了商業(yè)價(jià)值,1973年日本的夏普公司首次將它運(yùn)用于制作電子計(jì)算器的數(shù)字顯示?,F(xiàn)在,LCD是筆記型計(jì)算機(jī)和掌上計(jì)算機(jī)的主要顯示設(shè)備,在投影機(jī)中,它也扮演著非常重要的角色,而且它開(kāi)始逐漸滲入到桌面顯示器市場(chǎng)中。?

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為什么叫液晶??
?????? 液晶得名于其物理特性:它的分子晶體,不過(guò)以液態(tài)存在而非固態(tài)。大多數(shù)液晶都屬于有機(jī)復(fù)合物。這些晶體分子的液體特性使得它具有兩種非常有用的特點(diǎn):如果你讓電流通過(guò)液晶層,這些分子將會(huì)以電流的流向方向進(jìn)行排列,如果沒(méi)有電流,它們將會(huì)彼此平行排列。如果你提供了帶有細(xì)小溝槽的外層,將液晶倒入后,液晶分子會(huì)順著槽排列,并且內(nèi)層與外層以同樣的方式進(jìn)行排列。?
?????? 液晶的第三個(gè)特性是很神奇的:液晶層能夠使光線發(fā)生扭轉(zhuǎn)。液晶層表現(xiàn)的有些類(lèi)似偏光器,這就意味著它能夠過(guò)濾掉除了那些從特殊方向射入之外的所有光線。此外,如果液晶層發(fā)生了扭轉(zhuǎn),光線將會(huì)隨之扭轉(zhuǎn),以不同的方向從另外一個(gè)面中射出。?
?????? 液晶的這些特點(diǎn)使得它可以被用來(lái)當(dāng)作一種開(kāi)關(guān)-即可以阻礙光線,也可以允許光線通過(guò)。液晶單元的底層是由細(xì)小的脊構(gòu)成的,這些脊的作用是讓分子呈平行排列。上表面也是如此,在這兩側(cè)之間的分子平行排列,不過(guò)當(dāng)上下兩個(gè)表面之間呈一定的角度時(shí),液晶成了隨著兩個(gè)不同方向的表面進(jìn)行排列,就會(huì)發(fā)生扭曲。結(jié)果便是這個(gè)扭曲了的螺旋層使通過(guò)的光線也發(fā)生扭曲。如果電流通過(guò)液晶,所有的分子將會(huì)按照電流的方向進(jìn)行排列,這樣就會(huì)消除光線的扭轉(zhuǎn)。如果將一個(gè)偏振濾光器放置在液晶層的上表面,扭轉(zhuǎn)的光線通過(guò)了,而沒(méi)有發(fā)生扭轉(zhuǎn)的光線將被阻礙。因此可以通過(guò)電流的通斷改變LCD中的液晶排列,使光線在加電時(shí)射出,而不加電時(shí)被阻斷。也有某些設(shè)計(jì)了省電的需要,有電流時(shí),光線不能通過(guò),沒(méi)有電流時(shí),光線通過(guò)。?
?????? 顯示技術(shù)由于不同的應(yīng)用目的而分成不同的類(lèi)型。有的是成了靜態(tài)顯示,比如道路標(biāo)志和顯示牌,它們的顯示信息是不變的。平面顯示技術(shù)則被用于傳遞發(fā)生變化的顯示信息,所以顯示信息量的大小就決定了所采用的顯示技術(shù)類(lèi)型。對(duì)于便攜式的計(jì)算器等設(shè)備而言,由于所傳遞的信息量相對(duì)較低,被稱(chēng)為「低信息密度」顯示技術(shù);對(duì)于計(jì)算機(jī)顯示器而言,由于傳遞的信息量大,則相應(yīng)被稱(chēng)為「高信息密度」顯示技術(shù)。?
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被動(dòng)矩陣液晶顯示技術(shù)?

?????? 高信息密度顯示技術(shù)中首先商品化的是「被動(dòng)矩陣顯示技術(shù)」。它得名于控制液晶單元的開(kāi)和關(guān)的簡(jiǎn)單設(shè)計(jì)。?
?????? 被動(dòng)矩陣液晶顯示的驅(qū)動(dòng)方式是由垂直與水平方向的電極所構(gòu)成,單獨(dú)的液晶單元夾在彼此垂直的電極中間。因此,任何一組電極的驅(qū)動(dòng)就會(huì)在特定的單元中引起電流通過(guò)。?
?????? 被動(dòng)矩陣顯示畫(huà)面的原理就是輸入的信號(hào)依次去驅(qū)動(dòng)每一排的電極,于是當(dāng)某一排被選定的時(shí)候,列向上的電極將被觸發(fā)打開(kāi)位于排和列交叉上的那些像素。這種方法比較簡(jiǎn)單,而且對(duì)液晶屏幕的成本增加也不多。不過(guò)它也有缺點(diǎn),如果有太大的電流通過(guò)某個(gè)單元,附近的單元都會(huì)受到影響,引起虛影。如果電流太小,單元的開(kāi)和關(guān)就會(huì)變得遲緩,降低對(duì)比度和丟失移動(dòng)畫(huà)面的細(xì)節(jié)。?
?????? 早期,被動(dòng)矩陣板依賴(lài)于扭轉(zhuǎn)向列的設(shè)計(jì)。上層和下層的偏光板的偏振光方向呈90度,因此中間的液晶以90度進(jìn)行扭轉(zhuǎn)。這樣制造的液晶板對(duì)比度很低、響應(yīng)時(shí)間也很慢。這種方式運(yùn)用在低信息量顯示時(shí)很好,不過(guò)被證明不適合計(jì)算機(jī)顯示。?
?????? 超扭轉(zhuǎn)向列(SuperTwistedNematic)方法是通過(guò)改變液晶材料的化學(xué)成分,使液晶分子發(fā)生不止一次的扭轉(zhuǎn),光線扭轉(zhuǎn)達(dá)到180度到270度,這樣便可大大地改善畫(huà)面的顯示品質(zhì)。80年代初期STN技術(shù)一度非常流行,至今它還在可攜式設(shè)備如PDA,手機(jī)中使用。雖然STN技術(shù)提高了顯示的對(duì)比度,不過(guò)它會(huì)引起光線的色彩偏差,尤其是在屏幕偏離主軸的位置上。這就是為什么早期的筆記型計(jì)算機(jī)屏幕總是偏藍(lán)和偏黃的原因。?
?????? 為了解決這一問(wèn)題,雙層超扭曲向列型顯示技術(shù)DSTN出現(xiàn)了,它具有兩層扭轉(zhuǎn)方向相對(duì)的LCD層,第二層使得第一層遺留的色偏問(wèn)題得以解決。當(dāng)然它的制造工藝比前兩種方式要復(fù)雜的多。?
?????? 后來(lái)人們發(fā)現(xiàn)了比DSTN更簡(jiǎn)單易行的方法--在底層和頂層的外表面加上補(bǔ)償膜,來(lái)改善STN技術(shù)中所產(chǎn)生的特定波段光線的散射和反射現(xiàn)象,這就是補(bǔ)償膜超扭轉(zhuǎn)向列Film-compensatedSTN(FSTN)。FSTN的顯示效果和DSTN相當(dāng),但價(jià)格和工藝難度大大降低,所以現(xiàn)在大多數(shù)被動(dòng)式LCD都采用了FSTN技術(shù)。?
????? ?FSTN技術(shù)的LCD顯示效果,人們又于90年代初期提出了雙掃描概念。所謂雙掃描,就是將面板水平對(duì)等地分為兩部分,頂端和底端相對(duì)應(yīng)的部分同時(shí)掃描,這就大大提高了掃描的頻率。雙掃描解決了小電流、長(zhǎng)時(shí)間使用的情況下常常產(chǎn)生的鬼影現(xiàn)象。和主動(dòng)矩陣顯示相比顯著提高了對(duì)比度、畫(huà)質(zhì)和響應(yīng)時(shí)間,所以現(xiàn)在還廣為低價(jià)位的筆記型計(jì)算機(jī)所采用。?
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主動(dòng)矩陣LCD及其弱勢(shì)?

????? 被動(dòng)矩陣 LCD 的最大問(wèn)題是難以快速地控制單獨(dú)的液晶單元,并以足夠大的電流保證來(lái)獲得好的對(duì)比度、足夠的灰階級(jí)和較快的響應(yīng)時(shí)間,從而影響了動(dòng)態(tài)影像的顯示效果。主動(dòng)矩陣 LCD 通過(guò)單獨(dú)地控制每個(gè)單元,有效地解決了上面的問(wèn)題。?
?????? 與被動(dòng)矩陣LCD 相似,主動(dòng)矩陣 ( Active Matrix) LCD 的上下表層也縱橫有序排列著用銦錫氧化物做成的透明電極。所不同的是在每個(gè)單元中都加入了很小的晶體管,由晶體管來(lái)控制電流的開(kāi)和關(guān)。晶體管電極是利用薄膜技術(shù)而做成的。晶體管利用了薄膜來(lái)形成半導(dǎo)體。薄膜晶體管 LCD ( TFT-LCD)也因此得名。?
????? ?晶體管可以迅速地控制每個(gè)單元,由于單元之間的電干擾很小,所以你可以使用大電流,而不會(huì)有鬼影和拖尾現(xiàn)象。更大的電流會(huì)提供更好的對(duì)比度、更銳利的和更明亮的圖像。?
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視角及反應(yīng)速度?

?????? 在傳統(tǒng)的 CRT 顯示器或電視機(jī)中,圖像的顯示是通過(guò)發(fā)光物體 -- 磷來(lái)實(shí)現(xiàn)的,光線從這一層向各個(gè)方向發(fā)射,只是強(qiáng)弱稍有不同而已。因此,你可以從一個(gè)很大的可視角范圍來(lái)觀看屏幕,無(wú)論從哪個(gè)角度去觀察,顯示的亮度、色彩都和正視效果相近。?
?????? LCD和其它大多數(shù)顯示技術(shù),都需要強(qiáng)的背景光線穿過(guò)液晶層或者其它顯示層來(lái)形成圖像,從而完成圖像的傳遞過(guò)程。 LCD 的特性決定了它所需的背景光是定向的。舉一個(gè)形象的例子來(lái)說(shuō),就好比你手中握有一把吸管,它們的一端對(duì)準(zhǔn)光源。如果你通過(guò)另一端直視吸管,你將會(huì)看到光源射出的光線。但是如果你?
?????? 稍微移開(kāi)眼睛,從其它的方向去看的話,你就無(wú)法觀察到光線了。 LCD 技術(shù)正是如此。雖然液晶分子并不像吸管一樣是中空的,但是它們的有序排列阻止了光線向其它方向發(fā)射。
?????? 為了解決視角問(wèn)題,制造商們也想出了許多方法。直接在顯示器外面附加一層漫射膜是辦法之一,漫射膜可以將特定傳播方向的光線散射向各個(gè)方向,從而增大可視角度。不過(guò)這種方法只能達(dá)到一定程度的改善。另一種做法是改變通過(guò)液晶的電流方向來(lái)增大可視角度。電流不再是從頂端流向底端,而是從側(cè)面方向流過(guò)。這就使得液晶分子在水平方向上有序排列,從而增大了傳遞光線的可視角度。這兩種技術(shù)通常用在水平可視角度的改善上。?
?????? 第三種解決方案比較復(fù)雜,而且會(huì)使制造成本大大增加。主要方法是將每個(gè)液晶單元分割成大量微小的部分,事先將這些微小子單元以不同的方向傾斜,這就使得傳播光線在到達(dá)這些微小面板的時(shí)候向各個(gè)方向散射,從而增大可視角度。昂貴的成本限制了它的廣泛使用,僅在一些具有需要同時(shí)從遠(yuǎn)處和近處觀察的桌上型顯示器中才應(yīng)用這種技術(shù)。

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反應(yīng)速度?

????? ?LCD單元在控制信號(hào)到達(dá)與變化完成之間存在滯后現(xiàn)象,這使得 LCD 在顯示快速移動(dòng)圖像時(shí)與 CRT 相比具有一種先天的缺陷。?
?????? CRT 的電子槍發(fā)射電子束到被激發(fā)的熒光粉發(fā)光之間幾乎是瞬間的。?
?????? 這種時(shí)間滯后被稱(chēng)「反應(yīng)時(shí)間」,其單位通常是毫秒。被動(dòng)矩陣顯示器響應(yīng)時(shí)間很長(zhǎng),約有 150 毫秒或更多,所以不適于顯示諸如電影的移動(dòng)畫(huà)面。?
?????? 在主動(dòng)矩陣顯示器中像素響應(yīng)時(shí)間隨設(shè)計(jì)的不同而異,主要受到幾個(gè)因素影響,包括用來(lái)驅(qū)動(dòng)單元的電壓,單元的厚度和使用的液晶材料。標(biāo)準(zhǔn)的主動(dòng)矩陣顯示器一般有 40 毫秒的響應(yīng)時(shí)間,也就是說(shuō)每秒能顯示 25 幀。平面內(nèi)轉(zhuǎn)換增加了可視角度,但顯示會(huì)變慢,一般有 70 毫秒反應(yīng)時(shí)間。顯示器更快一些,有 25 毫秒反應(yīng)時(shí)間。?

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耗電量?

?????? 主動(dòng)矩陣式 LCD 顯示器與 CRT 相比較小,需要很少的電量。事實(shí)上,它已經(jīng)變成了便攜式設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)顯示器,從 PDA 到筆記型計(jì)算機(jī)均廣泛運(yùn)用。但不管怎樣, LCD 技術(shù)還是可悲的效率低下:即使你將屏幕顯示白色,從背景光源中發(fā)射的光也只有不到 10% 穿過(guò)屏幕發(fā)出,其它的都被吸收。?
?????? 筆記型計(jì)算機(jī)的低效迫使其設(shè)計(jì)者面臨一些艱難的選擇。如果你希望在戶外這樣強(qiáng)光環(huán)境下圖像更明亮,你就需要一個(gè)更亮的背景光源,這將需要更多的電力。如果你使用的電池容量一定,更亮的背景光源就會(huì)在較短的時(shí)間內(nèi)耗盡電源。?
?????? 設(shè)計(jì)者用更大的電池容量解決這個(gè)問(wèn)題,但是對(duì)于目前的電池技術(shù)來(lái)說(shuō),就意味著設(shè)備重量的增加,對(duì)消費(fèi)者的吸引力就會(huì)下降。這三者之間的三角平衡推動(dòng)著顯示器、電池及節(jié)能技術(shù)的研究。?
?????? 總而言之,背景光源所哪芰渴?span> LCD 顯示器總耗電量的最大部分。更大的屏幕、更高的亮度和更高的分辨率都將使筆記型計(jì)算機(jī)顯示器的耗電量大大增加。另一方面,技術(shù)進(jìn)步通過(guò)降低系統(tǒng)電壓和提高孔徑比使更多的光能通過(guò)液晶單元,降低系統(tǒng)的電源需求。結(jié)果是,筆記型顯示器的總耗電量維持在 2 到 5 瓦之間。一根管子的背景光源大約需要 1.2 瓦,所以根據(jù)使用一只或兩只管子一個(gè)屏幕中共需要 1.2 或 2.4 瓦的能量。?
?????? PDA,如 Palm 和 Compaq iPAQ常使用反射顯示器。這意味著環(huán)境光射進(jìn)顯示器中,穿過(guò)極化的液晶層,碰撞反射層,再反射出來(lái)顯示成圖像。據(jù)估計(jì),在此過(guò)程中 84% 的光被吸收,所以只有六分之一的光起作用,雖然還有待改進(jìn),但已足以提供可視影像需要的對(duì)比度。單向反射和反射顯示器使得不同光照條件下耗費(fèi)最少能源使用 LCD 顯示器成為可能。?
?????? LCD顯示器的關(guān)鍵因素之一是它的價(jià)格。如果比 CRT 更加便宜,它將會(huì)占據(jù)幾乎全部的顯示器市場(chǎng)。但不幸的是,對(duì)于桌上計(jì)算機(jī)經(jīng)常使用的15、17吋顯示器來(lái)說(shuō),相同顯示面積的 LCD 的造價(jià)幾乎是 CRT 的 3 到 5 倍。顯示面積越大,造價(jià)差距越大。為什么LCD 造價(jià)如此之高?這取決于它們的制造方式。它的制造工藝異常復(fù)雜,維持高良率需要不斷努力。?

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顯示色彩?

?????? LCD 顯示的一個(gè)重要的技術(shù)指標(biāo)是顯示色彩。?
???? ? CRT 顯示器所能表現(xiàn)出的色彩幾乎是無(wú)窮的,因?yàn)樗悄M設(shè)備。只需改變紅綠藍(lán)三種模擬信號(hào)的強(qiáng)度,你就可以得到不同的色彩。與 CRT 一樣, LCD 技術(shù)也是根據(jù)電壓的大小來(lái)改變亮度,但是只有主動(dòng)矩陣 LCD 可以單獨(dú)控制每個(gè)像素,被動(dòng)矩陣 LCD 每次都要驅(qū)動(dòng)整行或整列像素,因此它的灰階表現(xiàn)能力很差。?
?????? 每個(gè)LCD的子像素顯示的顏色取決于色彩過(guò)濾器。由于液晶本身沒(méi)有顏色,所以用濾色片產(chǎn)生各種顏色,而不是子像素,子像素只能通過(guò)控制光線的通過(guò)強(qiáng)度來(lái)調(diào)節(jié)灰階,只有少數(shù)主動(dòng)矩陣顯示采用模擬信號(hào)控制,大多數(shù)則采用數(shù)字信號(hào)控制技術(shù)。大部分?jǐn)?shù)字控制的 LCD 都采用了 8 位控制器,可以產(chǎn)生 256 級(jí)灰階。每個(gè)子像素能夠表現(xiàn) 256 級(jí),那么你就能夠得到 256×3種色彩,每個(gè)像素能夠表現(xiàn) 16,777,216 種成色。因?yàn)槿说难劬?duì)亮度的感覺(jué)并不是線性變化的,人眼對(duì)低亮度的變化更加敏感,所以這種 24 位的色度并不1能完全達(dá)到理想要求。工程師們通過(guò)脈沖電壓調(diào)節(jié)的方法以使色彩變化看起來(lái)更加統(tǒng)一。?
?????? 制造商還采用了兩種技術(shù)來(lái)提高主動(dòng)矩陣顯示中每個(gè)液晶單元的灰階顯示數(shù)目。第一種是抖動(dòng)方法。將四個(gè)毗連呈正方形的像素作為一個(gè)單元,如果其中一個(gè)的灰階太低,那么相鄰的像素就會(huì)提高自身的亮度,從而顯示出一個(gè)比較適中的灰階,四個(gè)像素最后會(huì)顯示出三個(gè)適中的最終灰階作為顯示結(jié)果。這種方法的最大缺點(diǎn)在于降低了顯示的分辨率。?
????? ?另一項(xiàng)技術(shù)是框架速率控制(FRC )或者暫時(shí)的高頻振動(dòng)。這種方法在顯示每屏圖像時(shí)多次刷新像素。與高頻振動(dòng)中將灰階的混合用空間來(lái)顯示不同,這種方法通過(guò)時(shí)間控制。如果顯示一幅畫(huà)面需要的時(shí)間分為很多幀,像素就可以在幀的切換當(dāng)中造成一種灰階的過(guò)渡態(tài),四幀就可以造成三個(gè)過(guò)渡態(tài)。這種設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是可以不降低圖像的分辨率,被廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代的主動(dòng)矩陣顯示器中。?

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傳統(tǒng)工藝流程?

????? ?LCD 的面板最早使用非常薄的玻璃制造。大約只有 1.1-0.4毫米厚,由于玻璃生產(chǎn)中,設(shè)備不同會(huì)造成玻璃厚度不同。所以,顯示器只能在一套模具中制造。玻璃底層鍍有一層非晶硅,從而在每個(gè)像素單元上可以制造半導(dǎo)體組件。經(jīng)過(guò)一系列的平板照相、蝕刻、覆膜和沈積步驟,在每個(gè)像素上都生成了開(kāi)關(guān)晶體管、濾色器及其它部分。?
?????? ?在所有的元器件上沈積有一個(gè)透明數(shù)組膜,在頂層上貼上另一個(gè)相似的透明的數(shù)組膜。這些膜運(yùn)用光化學(xué)工藝流程進(jìn)行刻蝕或印刷,在每層膜上形成極小的刻槽。當(dāng)液晶材料注入時(shí),液晶分子就在這些槽中有序排列。在屏幕的兩面間噴灑小隔片,保證在每個(gè)像素位置上有一到兩個(gè)隔片。這樣就可以分隔開(kāi)玻璃層的上下面,為液晶材料提供一個(gè)存在的空間。接著,在每個(gè)顯示器的?
?????? LCD 技術(shù)中最引人矚目的是低溫多晶硅的使用。傳統(tǒng)工藝中使用非晶硅制造 LCD 單元元器件,相對(duì)來(lái)說(shuō)制造成本較低,但是比半導(dǎo)體芯片制造所使用的單晶硅的電子活性較低。電子活性隨著硅結(jié)晶度的提高而增加,這樣晶體管就可以越來(lái)越小s,而這又意味著更大的孔徑比 -- 更多光線將通過(guò)液晶顯示器單元 -- 所以顯示器耗電量更低,也就是說(shuō)電池使用壽命將延長(zhǎng)或整機(jī)重量降低。多晶硅用于小型 LCD 顯示器 -- 例如數(shù)據(jù)讀取設(shè)備中的面板 - 但它們都需要可抵抗高溫的特殊玻璃。覆蓋在底層的硅被加熱到一定溫度然后冷卻,從而產(chǎn)單晶硅。?
?????? 近幾年,技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到了可以制造標(biāo)準(zhǔn)的玻璃底層和在室溫下制造晶體硅。使用激光掃描硅膜,可以使膜表面特定的極小區(qū)域產(chǎn)生高溫,冷卻后生成單晶硅。這種工藝比傳統(tǒng)的鍍膜更加昂貴,但是它帶來(lái)了一些其它的利益。除了孔徑比增加之外,多晶硅層的使用使得在面板的邊緣構(gòu)造驅(qū)動(dòng)電路成為可能。從而大部分與電路的接頭能夠無(wú)需接片(TAB)就能夠在底層很好的實(shí)現(xiàn)連接。這就意味著連接到面板上的接頭數(shù)目減少 95 %以上,而且同時(shí)增加顯示的物理可靠性。

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