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摘要
? ? ? ?半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)控制是一項(xiàng)非常復(fù)雜和耗時(shí)的任務(wù)。定義了設(shè)備性能參數(shù)的不同需求由客戶(hù)和設(shè)施管理。這些要求通常是反對(duì)的，而且有效策略的定義并不簡(jiǎn)單。在半導(dǎo)體制造中，常用的可用生產(chǎn)控制系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)定義每個(gè)生產(chǎn)批次的重要性。生產(chǎn)批次按順序排列
? ? ? 根據(jù)定義的優(yōu)先級(jí)。這個(gè)過(guò)程稱(chēng)為調(diào)度。優(yōu)先級(jí)配置是由特殊的算法來(lái)實(shí)現(xiàn)的。在文學(xué)中，有很多不同的策略規(guī)則是可用的。對(duì)于半導(dǎo)體代工業(yè)務(wù)來(lái)說(shuō)，有非常需要的靈活且可適應(yīng)的策略，將設(shè)備狀態(tài)和已定義的需求納入帳戶(hù)。在我們的情況下，生產(chǎn)過(guò)程的特點(diǎn)是低量高混合產(chǎn)品組合。這種組合會(huì)導(dǎo)致額外的穩(wěn)定性問(wèn)題和性能滯后。不穩(wěn)定的特性增加了對(duì)合理生產(chǎn)控制邏輯的影響。本文提出了一種非常靈活、適應(yīng)性強(qiáng)的生產(chǎn)控制策略。這一政策是基于真實(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)的詳細(xì)設(shè)施模型。數(shù)據(jù)被提取出來(lái)從一個(gè)真正的高混合低產(chǎn)量的半導(dǎo)體工廠。調(diào)度策略幾個(gè)調(diào)度規(guī)則。不同的需求，如線平衡，吞吐量?jī)?yōu)化準(zhǔn)時(shí)交貨的目標(biāo)也可以考慮在內(nèi)。自動(dòng)化的詳細(xì)設(shè)施模型計(jì)算了不同調(diào)度規(guī)則的半最優(yōu)組合定義目標(biāo)函數(shù)。目標(biāo)函數(shù)包含了不同的需求管理和客戶(hù)。采用遺傳啟發(fā)式算法求解快速有效地找到一個(gè)接近最優(yōu)解。該策略是通過(guò)實(shí)際生產(chǎn)數(shù)據(jù)進(jìn)行評(píng)估的。分析與詳細(xì)該工廠的設(shè)備模型顯示，多個(gè)設(shè)備的平均改善幅度為5%至8%性能參數(shù)，如每個(gè)掩模層的周期時(shí)間。最后在一個(gè)典型的高混疊低容量半導(dǎo)體器件上實(shí)現(xiàn)并應(yīng)用了該方法。系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)基于JAVA實(shí)現(xiàn)。這個(gè)實(shí)現(xiàn)包括常見(jiàn)的最新技術(shù)，如web服務(wù)。該系統(tǒng)取代了舊的生產(chǎn)控制解決方案。除了調(diào)度算法，生產(chǎn)策略中還包含了跳過(guò)的可能性在確定的邊界條件下的幾個(gè)計(jì)量操作。在現(xiàn)實(shí)生活中
? ? ? 過(guò)程中，不是所有的計(jì)量操作對(duì)每個(gè)批次都是必要的。本文對(duì)取樣機(jī)制對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的影響。解決方案包括在內(nèi)進(jìn)入系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)框架，將不同的采樣規(guī)則分配給不同的計(jì)量操作。評(píng)估顯示在瓶頸情況下有了更大的改善。經(jīng)過(guò)對(duì)兩種系統(tǒng)的有效引進(jìn)和使用，取得了較好的實(shí)際效果
評(píng)估。員工調(diào)查結(jié)果顯示，員工對(duì)該系統(tǒng)的接受程度及反應(yīng)良好。此外對(duì)績(jī)效衡量的積極影響是可見(jiàn)的。實(shí)施的系統(tǒng)變成了一個(gè)真正的半導(dǎo)體設(shè)備的日常工具的一部分。
介紹
? ? ? 變型和變化是半導(dǎo)體代工業(yè)務(wù)的兩個(gè)主要特征(SFB)。多變的商業(yè)模式，不同的技術(shù)和產(chǎn)品任務(wù)、客戶(hù)訂單的變化和新技術(shù)對(duì)客戶(hù)的滿(mǎn)意度有很大的影響整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程。新客戶(hù)對(duì)產(chǎn)品的個(gè)性化要求更高是該行業(yè)的主要趨勢(shì)之一。條件的迅速變化取代了一切昨天的算法和解題方法。當(dāng)時(shí)的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)并不像現(xiàn)在這么復(fù)雜。Semicon半導(dǎo)體應(yīng)用從20世紀(jì)初開(kāi)始使用。在1906年李森林砍伐使世界上第一個(gè)真空管得以發(fā)展。這項(xiàng)發(fā)明為新媒體讓路，如收音機(jī)、電視和其他電子設(shè)備。此外,真空1947年，電子管被用于世界上第一臺(tái)電子計(jì)算機(jī)(ENIAC)。12月23日1947年，第一個(gè)像真空管一樣工作的裝置用半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì)出來(lái)。
? ? ? 這種元件叫做轉(zhuǎn)移電阻，也叫晶體管。在1959年第一個(gè)集成電路是由德州儀器的工程師杰克·基爾比開(kāi)發(fā)的。他用一塊半導(dǎo)體材料構(gòu)成了完整的電路。他結(jié)合幾個(gè)晶體管，二極管和電容器。 ?略
? ? ?本文講述半導(dǎo)體制造，術(shù)語(yǔ)和定義，基本關(guān)系等問(wèn)題
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