掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料
本文涉及一種清洗太陽能電池晶片的清洗設(shè)備，特別涉及一種用于干燥清洗后的晶片的太陽能電池晶片清洗器的干洗裝置。根據(jù)發(fā)明的太陽能電池晶片洗滌器用干裝置包括:在內(nèi)部注入晶片的情況下使晶片干燥的腔室、在該腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)支承的情況下提供空氣以使注入腔室內(nèi)的晶片干燥的擺動噴嘴、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動該擺動噴嘴的擺動驅(qū)動裝置，從而確保更好的干燥性能，大大縮短干燥時間，從而有助于提高生產(chǎn)率。
太陽能電池是吸收太陽光并產(chǎn)生電動勢的光電轉(zhuǎn)換元件，是太陽能發(fā)電系統(tǒng)的核心，目前晶體硅(Si)占太陽能電池材料的90%以上。太陽能電池級晶片與已經(jīng)用作半導(dǎo)體電路元件基板50多年的半導(dǎo)體級硅片相比，為了降低制造成本，純度比11 Nine低6 Nine(99.9999%)但是，雖然電路的復(fù)雜性或線寬大小有差異，但從根本上說，半導(dǎo)體所子和太陽能電池都是通過添加硼(B)、磷(P)等興奮劑形成P型和n型區(qū)域，制作電極的過程是相同的。形成如此眾多光電轉(zhuǎn)換元件的太陽能電池級晶片被稱為Solar Wafer。這樣制造Solar Wafer，配置電池并安裝在現(xiàn)場，太陽能發(fā)電系統(tǒng)就完成了。
另一方面，太陽能電池制造工藝由光刻、蝕刻（蝕刻）、離子注入、薄膜形成等眾多單位工程組成，在一個單位工程結(jié)束，進入下一個單位工程之前，必須經(jīng)過清潔工藝。這樣，清潔設(shè)備可以降低昂貴的工藝設(shè)備部件和材料的更換費用，是提高半導(dǎo)體/LCD/太陽能電池收率所必需的設(shè)備。
為了解決上述問題而制定的， 使用室中的搖擺噴嘴， 其目的在于確保更可靠的干燥性能，大大縮短干燥時間，為提高生產(chǎn)效率做出貢獻的太陽能電池Wayper清潔器用干洗裝置。
根據(jù)發(fā)明的太陽能電池晶片清潔器用干洗裝置包括:在內(nèi)部投入晶片的情況下，實現(xiàn)對晶片進行干燥的室結(jié)構(gòu)體和； 形成為管道結(jié)構(gòu)，并從上述室結(jié)構(gòu)體的外部向內(nèi)部連接，可旋轉(zhuǎn)地支撐在上述室結(jié)構(gòu)體上，與擺動噴嘴提供氣動以使所投于室結(jié)構(gòu)體內(nèi)的晶片能夠干燥； 特征為具備在上述室結(jié)構(gòu)體上，包括旋轉(zhuǎn)上述擺動噴嘴的擺動驅(qū)動裝置
本發(fā)明，當室內(nèi)噴嘴配置為可以一邊旋轉(zhuǎn)一邊噴射干燥用氣動一邊干燥晶片時，對門具有縮短晶片干燥時間，大大提高生產(chǎn)效率的效果。 也就是說， 本發(fā)明通過將噴嘴配置為可以進行擺動運動， 它被配置為使晶片在室內(nèi)產(chǎn)生渦流流動，從而使晶片在整個晶片上產(chǎn)生空氣混合效應(yīng)。 通過最小化干燥過程中可能發(fā)生的污漬（Water Mark）等，可以提高干燥性能，通過縮短干燥時間，可以提高生產(chǎn)效率，?因此從噴嘴噴射的氣動在室內(nèi)渦流流動，使晶片干燥后通過室下部順利強制排氣的效果。 此外由于在室的兩側(cè)或下部設(shè)置了多個搖擺噴嘴，因此可以通過單獨噴射或噴射量組節(jié)等適當?shù)卣{(diào)節(jié)晶片干燥所需的空氣，從而達到提高干燥效率的效果。
按照上述順序進行的清潔工程， 將晶片用NaOH溶液清洗污染源的克林步驟； 用超純DI（deionized）水沖洗的護發(fā)素步驟，然后是干燥步驟，這是一個例子，并不一定限于上述工藝路線。
圖3是正視圖，在這些圖中我們可以看到，太陽能電池晶片清潔器用干洗裝置， 主要包括:內(nèi)部由一個腔室結(jié)構(gòu)體組成，該腔室結(jié)構(gòu)體可在一個腔被投入的情況下使晶片干燥， 由管道結(jié)構(gòu)形成并從上述室結(jié)構(gòu)體（100）的外部向內(nèi)部連接，同時在上述室結(jié)構(gòu)體（100）上可旋轉(zhuǎn)地支承以提供能夠使上述晶片干燥的空氣的擺動噴嘴（Swing 包括nozzle）（200），以及具備在上述室結(jié)構(gòu)體（100）的外側(cè)以旋轉(zhuǎn)上述擺動噴嘴（200）的擺動驅(qū)動裝置（300）。
參考圖2和圖3， 開關(guān)用致動器（155）可被配置為以氣動或液壓方式開路， 在利用氣動的情況下，與在擺動底板（135）上垂直方向支承的氣動缸（156）， 可以由開關(guān)桿（157）組成，開關(guān)桿在該氣動缸的活塞桿端部以鏈接方式連接到罩體（150）的旋轉(zhuǎn)軸（158）。 作為參考，在圖3中，開關(guān)用致動器（155）只在一側(cè)成城，但一側(cè)為方便省略成城，構(gòu)成為分別設(shè)置在兩側(cè)罩（150）上，如在圖2中所示。
如上所述（圖中實例圖片并沒有一一說明），本發(fā)明的實施例中所述的技術(shù)思想可以分別獨立實施，彼此組合實施。 此外， 本發(fā)明通過圖紙及發(fā)明的詳細說明中所載的實施例加以說明，但僅作為示例。