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濕法制程整體解決方案提供商

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發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領域,濕法設備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術的不斷發(fā)展,濕法設備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領域的關鍵設備,如SPM酸清洗、有機清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標準成套設備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機設備 設備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機設備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應用領域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進封裝等專有技術系統(tǒng)潔凈性技術均勻性技術晶圓片N2干燥技術模塊化系統(tǒng)集成技術自動傳輸及精確控制技術溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術主要技術特點系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨立密封,具有多種功能可實現(xiàn)晶圓干進干出采用工控機控制,功能強大,操作簡便可根據(jù)用戶要求提供個性化解決方案設備制造商華林科納(江蘇)半導體設備有限公司 126xa.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(wǎng)(126xa.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費的半導體行業(yè)相關清洗設備解決方案。
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺結(jié)合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應用要求等特點,在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個部分組成,一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導線電刷、N2 保護單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體,二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下:從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應用分析可以看出,采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉(zhuǎn)運動使槽內(nèi)電場不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進行鍍液噴射,實現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu),鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進行相關模擬、仿真和驗證,鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu),可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進行晶圓電鍍工藝處理,由于結(jié)構(gòu)上的特點,該方法經(jīng)實驗驗證具有:①結(jié)構(gòu)簡單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應用,產(chǎn)品已通過技術定型鑒定和用戶驗收。實現(xiàn)的主要工藝指標:最...
發(fā)布時間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機1. 應用范圍:l 本機臺適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設備為垂直式雙槽體機臺,可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統(tǒng)設計, 高穩(wěn)定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機臺內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長:單片式清洗裝置的優(yōu)點(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對應)例:附著粒子數(shù)…10個/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設備相關信息可以關注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經(jīng)管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J健⒆詣涌刂颇J皆O備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N1507設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動單片式腐蝕清洗機應用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應用領域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進封裝等  設 備 名 稱CSE-單片清洗機類  型單片式適 用 領 域半導體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短(相較于槽式清洗機)2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu),占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關設備可以關注華林科納(江蘇)半導體官網(wǎng),關注http://126xa.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經(jīng)管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能。控制模式:手動控制模式、自動控制模式 設備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N2601設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化...
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關于 GaN 需要了解的 10 件事

時間: 2021-12-16
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關于 GaN 需要了解的 10 件事

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寬帶隙材料,例如氮化鎵正在成為使電子性能更上一層樓的技術。與硅器件相比,基于GaN的電子元件具有許多重要優(yōu)勢,包括更緊湊的尺寸、更高的功率密度、更高的效率、更低的開關損耗和更好的熱管理。這些因素對于?滿足與高功率和高密度應用相關的日益嚴格的要求至關重要。



1.為什么GaN的寬帶隙如此重要?

幾十年來,大多數(shù)電力電子器件都是以硅為基礎的,硅是一種可以低成本制造并且?guī)缀鯖]有缺陷的半導體。硅的理論性能現(xiàn)在幾乎已經(jīng)完全達到,突出了這種材料的一些限制,包括有限的電壓阻斷和有限的傳熱能力、效率和不可忽略的傳導損耗。寬帶隙(WBG)半導體,如氮化鎵(氮化鎵),提供優(yōu)于硅的性能,如更高的效率和開關頻率,更高的工作溫度和更高的工作電壓。

氮化鎵的帶隙為3.2電子伏(eV),比硅的帶隙高出近3倍,等于1.1 eV。這意味著需要更多的能量來激發(fā)半導體導電帶中的價電子。雖然這種特性限制了氮化鎵在超低電壓應用中的使用,但它具有允許更高擊穿電壓和更高溫度下更高熱穩(wěn)定性的優(yōu)勢。GaN大大提高了功率轉(zhuǎn)換級的效率,在高效電壓轉(zhuǎn)換器、功率MOSFETs和肖特基二極管的生產(chǎn)中成為硅的寶貴替代品。與硅相比,氮化鎵可以獲得重要的改進,例如更高的能效、更小的尺寸、更輕的重量和更低的總成本。


2.GaN和SiC相似嗎?

氮化鎵和碳化硅都是寬帶隙材料。雖然這些材料具有出色的性能,但它們的特性、應用和柵極驅(qū)動要求各不相同。碳化硅可以在高功率和超高壓(650伏以上)應用中與IGBT晶體管競爭。同樣,在電壓高達650伏的電源應用中,氮化鎵可以與當前的金屬氧化物半導體場效應晶體管和超級結(jié)金屬氧化物半導體場效應晶體管競爭。


3.耗盡模式和增強模式有何不同?

GaN晶體管的基本結(jié)構(gòu),稱為d型或耗盡型,如圖1上側(cè)所示。源極(S)和漏極(D)電極穿過AlGaN上層,與下層形成歐姆接觸,由二維電子氣體(2DEG)形成。源極和漏極之間的短路保持活躍,直到2DEG層釋放的電子耗盡,之后氮化鎵半絕緣層介入阻擋電流。為了實現(xiàn)這一點,柵電極(G)必須放置在AlGaN層的頂部。通常,柵電極由直接置于層表面的肖特基接觸組成。通過向該電極施加負電壓,肖特基勢壘變成反向極化,有利于電子在下層的移動。因此,為了使器件處于關斷狀態(tài),有必要對漏極和源極施加負電壓。這種結(jié)構(gòu)的主要缺點是它通常處于開啟狀態(tài),在通電階段給設計者帶來潛在的問題。然而,d模式結(jié)構(gòu)提供了與傳統(tǒng)低壓硅MOSFET具有相同柵極特性的重要優(yōu)勢,允許使用已經(jīng)可用的MOSFET柵極驅(qū)動器。

在高功率應用中,使用增強型結(jié)構(gòu)(e模式)。當沒有柵極電壓施加到電子甘晶體管(如圖1的底側(cè)所示)時,晶體管保持關斷狀態(tài),沒有電流流動。該器件由硅晶片制成,在硅晶片上沉積氮化鎵異質(zhì)結(jié),當沒有電壓施加到柵極時,形成通常處于關斷狀態(tài)的器件。導電通道是通過在高強度氮化鎵層上沉積一薄層氮化鎵制成的。AlGaN和GaN之間的界面產(chǎn)生應變壓電效應,形成高度可移動的二維電子氣體(2DEG)。器件的上層由電介質(zhì)和金屬布線保護組成。如此獲得的結(jié)構(gòu)允許場效應晶體管通過向柵電極施加正電壓而進入導通狀態(tài)。

關于 GaN 需要了解的 10 件事?

1: GaN耗盡模式和增強模式結(jié)構(gòu)

4.GaN如何在高頻下工作?

氮化鎵高電子遷移率晶體管在導通電阻和品質(zhì)因數(shù)(FOM)方面都有很好的表現(xiàn)。根據(jù)額定電壓和電流,品質(zhì)因數(shù)可能比超結(jié)場效應晶體管低4到10倍。因此,氮化鎵適用于高頻操作。使用具有低RDS(開)值的GaN HEMT降低了傳導損耗并提高了效率。


5.GaN有體二極管嗎?

氮化鎵HEMTs沒有本征體二極管,因此反向恢復電荷為零。這些器件自然能夠反向?qū)?,并根?jù)柵極電壓具有不同的特性。在系統(tǒng)層面,反向傳導能力可能比傳統(tǒng)的IGBTs更具優(yōu)勢,因為不需要反并聯(lián)二極管。

通過消除反向恢復損耗,氮化鎵甚至可以在高開關頻率下高效工作。例如,在連續(xù)導通模式下的無橋圖騰柱功率因數(shù)校正(PFC)中,由于反向恢復損耗高,使用超結(jié)MOSFETs是不切實際的。如圖2所示,通過使用氮化鎵晶體管作為高頻開關,反向恢復損耗被完全消除,相關的開關損耗顯著降低。

關于 GaN 需要了解的 10 件事?

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6.為什么GaN高擊穿場是優(yōu)勢???


7.對于射頻應用,GaN的主要優(yōu)勢是什么?

氮化鎵的電子遷移率為2000 cm2/Vs,比電子遷移率為1500 cm2/Vs的硅高得多。因此,氮化鎵晶體中的電子移動速度比硅快30%以上。這一突出的特性使氮化鎵在射頻應用中具有重要優(yōu)勢,因為它可以處理比硅更高的開關頻率。


8.GaN熱導率低是個問題嗎?

氮化鎵的熱導率比硅低(1.3 W/cmK對1.5 W/cmK)。然而,氮化鎵的高效率有助于降低電路產(chǎn)生的熱負載,這意味著它將在比硅更冷的溫度下工作。這提供了更好的熱管理,并避免了對外部散熱器的需求。


9.GaN晶體管的dv/dt要求是什么??

與硅相比,氮化鎵支持更快的開關速率,因此需要更高的壓擺率(100 V/ns或更高的dV/dt)。這有助于大幅降低開關損耗。


10.關閉氮化鎵晶體管需要負電壓嗎??



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