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始于90年代末

濕法制程整體解決方案提供商

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發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領域,濕法設備占據約40%以上的工藝,隨著工藝技術的不斷發(fā)展,濕法設備已經成為LED外延及芯片制造領域的關鍵設備,如SPM酸清洗、有機清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標準成套設備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機設備 設備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機設備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應用領域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進封裝等專有技術系統(tǒng)潔凈性技術均勻性技術晶圓片N2干燥技術模塊化系統(tǒng)集成技術自動傳輸及精確控制技術溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術主要技術特點系統(tǒng)結構緊湊、安全腔體獨立密封,具有多種功能可實現(xiàn)晶圓干進干出采用工控機控制,功能強大,操作簡便可根據用戶要求提供個性化解決方案設備制造商華林科納(江蘇)半導體設備有限公司 126xa.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(126xa.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費的半導體行業(yè)相關清洗設備解決方案。
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
旋轉式噴鍍臺結合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應用要求等特點,在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉噴鍍技術傾斜式旋轉噴鍍單元分由兩個部分組成,一為陰極夾具、旋轉單元、導線電刷、N2 保護單元組成的陰極回轉體,二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉噴鍍結構示意圖如下:從鍍制結構方式、鍍制工藝應用分析可以看出,采用傾斜式旋轉噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結構方式易實現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉運動使槽內電場不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進行鍍液噴射,實現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結構方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產需求。傾斜旋轉噴鍍技術、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結構本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結構,鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進行相關模擬、仿真和驗證,鍍液入口采用扇形噴咀式結構,可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結構的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉噴鍍方法進行晶圓電鍍工藝處理,由于結構上的特點,該方法經實驗驗證具有:①結構簡單;②工藝參數控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產并在工藝線上得到較好的應用,產品已通過技術定型鑒定和用戶驗收。實現(xiàn)的主要工藝指標:最...
發(fā)布時間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機1. 應用范圍:l 本機臺適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設備為垂直式雙槽體機臺,可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統(tǒng)設計, 高穩(wěn)定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機臺內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長:單片式清洗裝置的優(yōu)點(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數非常少(到25nm可對應)例:附著粒子數…10個/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據每個客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設備相關信息可以關注華林科納CSE官網(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能。控制模式:手動控制模式、自動控制模式設備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N1507設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內:酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內部管路及組件采PFA 451 HP 材質;4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動單片式腐蝕清洗機應用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應用領域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進封裝等  設 備 名 稱CSE-單片清洗機類  型單片式適 用 領 域半導體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短(相較于槽式清洗機)2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結構,占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關設備可以關注華林科納(江蘇)半導體官網,關注http://126xa.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J?、自動控制模式 設備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N2601設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內:酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內部管路及組件采PFA 451 HP 材質;4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化...
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太陽能光伏行業(yè)最新?新聞熱點2017年01月09日

時間: 2017-01-09
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太陽能光伏行業(yè)最新新聞熱點2017年01月09日


通威股份聯(lián)手隆基股份欲投8億建單晶硅棒項目

近日,,通威股份發(fā)布公告,鑒于單晶光伏產業(yè)的發(fā)展趨勢,充分利用各方優(yōu)勢及市場資源,其下屬永祥股份與隆基股份及常州天合光能有限公司(以下稱天合光能)已簽訂了《合資協(xié)議》,擬以三方出資成立合資公司的方式共同投建“麗江年產5GW單晶硅棒”項目。

公告披露,上述合資公司注冊資本為8億元,其經營范圍包括半導體材料、石英材料、太陽能電池、半導體設備等。其中,隆基股份出資4.8億元,持股60%;天合光能出資2億元,持股25%;永祥股份出資1.2億元,持股15%。

據悉,永祥股份是全球領先的多晶硅材料生產商,隆基股份是全球最大的單晶硅產品制造商,天合光能是全球領先的組件供應商及一流的系統(tǒng)集成商。通威股份表示,此次三方組建合資公司,可充分發(fā)揮各合作方在單晶產業(yè)鏈各環(huán)節(jié)的優(yōu)勢,有利于提升項目公司盈利能力,降低項目風險,符合公司業(yè)務發(fā)展需要。此外,此次投資完成后不會新增關聯(lián)交易及同業(yè)競爭。

證券時報路e公司記者注意到,繼2016年1月完成對永祥股份和通威新能源的收購之后,已經形成永祥股份1.5萬噸多晶硅產能,此后通威股份又于同年9月再次完成對通威太陽能的收購。有業(yè)內人士表示,在收購通威太陽能后,將有助于通威股份完善太陽能光伏產業(yè)鏈。如今,通威股份已實現(xiàn)了多晶硅、晶硅電池片及光伏電站開發(fā)運維等光伏新能源上、中、下游產業(yè)的購并整合,形成了公司“農業(yè)+光伏”雙輪驅動的協(xié)同發(fā)展模式。

目前,通威太陽能擁有3GW的電池片產能,包括2GW多晶硅電池片和1GW高效單晶電池片。同時,通威股份擬募集配套資金投建“合肥通威二期2.3GW高效單晶硅電池片項目”,預計2017年底將形成5.3GW的電池片產能。針對2016年~2019年,通威太陽能已做出業(yè)績承諾,預計實現(xiàn)凈利潤分別為3.95億元、6.08億元、7.69億元和8.2億元。

根據2016年前三季度財報披露,通威股份報告期內共完成營業(yè)收入156.97億元,同比增長9.52%;前三季度實現(xiàn)凈利潤9億元,同比增長56.69%。具體來看,通威股份2016年第三季度單季完成營業(yè)收入87.36億元,實現(xiàn)凈利潤6.7億元。實際上,通威股份第三季度業(yè)績大幅增長主要由于上市公司完成對通威太陽能的收購,業(yè)績并表帶來的影響,上半年光伏行業(yè)搶裝帶來對組件和電池片需求的提升。?出自:證券時報

特斯拉與松下啟動內華達州Gigafactory電池生產

松下和特斯拉開始啟動生產內華達州里諾Gigafactory“2170”圓柱形鋰離子電池。這些電池將用于特斯拉的Powerwall 2和Powerpack 2電池產品中。

2170電池由特斯拉和松下共同設計。2170電池成本低且性能好,非常適合于電池產品和電動汽車。

特斯拉指出Gigafactory在11月份啟動生產,建成以后將成為全球最大工廠。此項浩大的項目正在分階段完成,將會不斷擴大。2018年,該公司預計該電站每年將生產35GW的電池,幾乎相當于當前全球電池生產總量。

特斯拉收購了SolarCity紐約州北部的太陽能電池組件Gigafactory。Buffalo Gigafactory也將由松下公司經營,特斯拉預測將于2017年夏季開始啟動生產。?出自:OFweek 太陽能光伏網

2017年Boviet Solar推出新型太陽能光伏組件系列

Boviet Solar北美分公司推出最新太陽能光伏組件,預計將在2017年第一季度開始發(fā)貨。

新型組件生產線包括60片單晶和多晶電池、72片單晶和多晶電池、Boviet新型PERC(鈍化發(fā)射極背面接觸式)組件,以及內置無軌系統(tǒng)的屋頂太陽能組件。

Boviet新型2017太陽能組件包括輸出功率為330W至335W的72片多晶PERC組件和輸出功率為340W至345W的72片單晶PERC組件。

PERC太陽能板更有效,有效壽命和保修期與其他組件一樣,電力產出更高。

Boviet還推出了新型黑色PERC60片組件--黑色框架、黑色背板和黑色光伏電池,多晶硅電池電力輸出為280W至290W,單晶硅電池電力輸出為280W至290W。

為了簡化屋頂安裝項目,Boviet還將開始出售一款新型60片黑色單晶組件,帶有一體化安裝系統(tǒng)和功率優(yōu)化器。電池電力輸出為275-280W,內置無軌系統(tǒng),組件安裝時間比傳統(tǒng)屋頂陣列安裝時間縮短一半。?出自:OFweek 太陽能光伏網

蘇美達能源與亞洲潔能資本簽署100兆瓦分布式光伏電站合作協(xié)議

近日,蘇美達能源控股有限公司宣布與亞洲潔能資本有限公司(AsiaClean Capital,ACC)正式簽署一項分布式光伏發(fā)電系統(tǒng)合作協(xié)議。根據此次簽署的協(xié)議,蘇美達能源將與亞洲潔能資本在中國大陸地區(qū)聯(lián)合開發(fā)100兆瓦的光伏發(fā)電項目。

據了解,根據協(xié)議蘇美達能源將負責分布式屋頂電站項目的開發(fā)、建設以及運維等全方位的專業(yè)服務,亞洲潔能資本將為合作項目的光伏發(fā)電系統(tǒng)提供全額投資支持。

蘇美達能源控股有限公司是全球領先的新能源解決方案提供商,隸屬于世界500強——中國機械工業(yè)集團旗下江蘇蘇美達集團,是中國機械工業(yè)集團新能源板塊的戰(zhàn)略執(zhí)行主體。公司業(yè)務覆蓋光伏組件高端智造、光伏電站開發(fā)、設計、施工、運營以及金融方案等行業(yè)重點領域。蘇美達能源致力于向客戶提供包括能源供應、能源管理、節(jié)能減排和能源儲存在內的一站式閉環(huán)能源解決方案。面向全球,為投資商環(huán)節(jié)和電力用戶創(chuàng)造持續(xù)的經濟、社會和生態(tài)價值。

亞洲潔能資本公司(ACC)是一家清潔能源解決方案提供商,主要服務位于中國的大型跨國以及國內企業(yè)。典型客戶為電力需求從1到20兆瓦的大型生產企業(yè),公司總部位于香港并在北京設立運營管理中心。

蘇美達能源與亞洲潔能資本的合作將加速蘇美達能源在分布式光伏領域業(yè)務的發(fā)展,幫助更多的跨國及國內企業(yè)降低運營成本、減少碳足跡和實現(xiàn)其可持續(xù)發(fā)展的目標。?出自:光伏國際

(項目來自網絡,由華林科納半導體論壇整理發(fā)布,內容僅供參考,謝謝!)

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