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始于90年代末

濕法制程整體解決方案提供商
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發(fā)布時間： 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領(lǐng)域，濕法設備占據(jù)約40%以上的工藝，隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展，濕法設備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設備，如SPM酸清洗、有機清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納（江蘇）CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝，現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標準成套設備。 LED 芯片的制造工藝流程為：外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機設備 設備名稱華林科納（江蘇）CSE-外延片清洗機設備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應用領(lǐng)域集成電路、聲表面波（SAW）器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進封裝等專有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨立密封，具有多種功能可實現(xiàn)晶圓干進干出采用工控機控制，功能強大，操作簡便可根據(jù)用戶要求提供個性化解決方案設備制造商華林科納（江蘇）半導體設備有限公司 126xa.cn 400-8768-096 ；18915583058更多的外延片清洗設備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)（126xa.cn），現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費的半導體行業(yè)相關(guān)清洗設備解決方案。
發(fā)布時間： 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺結(jié)合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應用要求等特點，在6＂ （150mm）晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個部分組成，一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導線電刷、Ｎ２ 保護單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體，二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下：從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應用分析可以看出，采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護功能。二是在這種鍍制工藝中，陰極的旋轉(zhuǎn)運動使槽內(nèi)電場不均問題得以解決，從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式，可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進行鍍液噴射，實現(xiàn)攪拌功能，消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu)，鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行，可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進行相關(guān)模擬、仿真和驗證，鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu)，可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納（江蘇）CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進行晶圓電鍍工藝處理，由于結(jié)構(gòu)上的特點，該方法經(jīng)實驗驗證具有：①結(jié)構(gòu)簡單；②工藝參數(shù)控制容易；③有利氣泡的消除；④鍍制均勻性得到提高；⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝，同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng)，目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應用，產(chǎn)品已通過技術(shù)定型鑒定和用戶驗收。實現(xiàn)的主要工藝指標：最...
發(fā)布時間： 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機1. 應用范圍:l 本機臺適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設備為垂直式雙槽體機臺，可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統(tǒng)設計, 高穩(wěn)定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機臺內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計，隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關(guān)90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子，並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨，並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告，氣體不足，傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen，整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/，皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間： 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機-華林科納CSE華林科納（江蘇）半導體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長：單片式清洗裝置的優(yōu)點（與浸漬.槽式比較）1.晶片表面的微粒數(shù)非常少（到25nm可對應）例：附著粒子數(shù)…10個/W以下（0.08UM以上粒子）（參考）槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…（例）1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size（根據(jù)每個客戶可以定制） 液體濺射（塵埃強制除去）  （推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)（www.hlkncas.com），現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096；18913575037可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發(fā)布時間： 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)（CDS）-華林科納（江蘇）CSEChemical Dispense System System 華林科納（江蘇）半導體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途：本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送，經(jīng)管道至設備；具有自動化程度高，配比精確，操作簡便等特點；具有良好的耐腐蝕性能?？刂颇Ｊ剑菏謩涌刂颇Ｊ?、自動控制模式設備名稱華林科納（江蘇）CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N1507設計基準1.供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS2. CDS 將設置于化學房內(nèi)：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房；3. 設備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材，內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì)；4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點；5. 過濾器：配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼；6. 供液泵：每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進口隔膜泵；7. Empty Sensor & Level Sensor：酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān)；8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能：每種化學液體配兩個桶（自動切換）、配兩臺泵（一用一備）、帶過濾器；系統(tǒng)控制單元：配帶OMRON 8”彩色觸摸屏，OMRON品牌PLC系統(tǒng)；2. 操作模式： CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間： 2018 - 01 - 23
單片清洗機-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納（江蘇）CSE-自動單片式腐蝕清洗機應用于清洗（包括光刻板清洗）刻蝕 去膠 金屬剝離等；可處理晶圓尺寸2'-12'；可處理晶圓材料：硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等；主要應用領(lǐng)域：集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進封裝等  設 備 名 稱CSE-單片清洗機類  型單片式適 用 領(lǐng) 域半導體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量：1L/min/片4、蝕刻均一性良好（SiO?氧化膜被稀釋HF處理）：≤2%5、干燥時間：≤20S6、藥液回收率：＞95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短（相較于槽式清洗機）2、節(jié)約成本（藥液循環(huán)利用，消耗量遠低于槽式）3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu)，占地面積小 更多的單片（枚葉）式清洗相關(guān)設備可以關(guān)注華林科納（江蘇）半導體官網(wǎng)，關(guān)注http://126xa.cn ,400-8768-096，18913575037
發(fā)布時間： 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納（江蘇）CSEChemical Dispense System System 華林科納（江蘇）半導體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途：本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送，經(jīng)管道至設備；具有自動化程度高，配比精確，操作簡便等特點；具有良好的耐腐蝕性能?？刂颇Ｊ剑菏謩涌刂颇Ｊ健⒆詣涌刂颇Ｊ?#160;設備名稱華林科納（江蘇）CSE-氫氟酸（HF）供液系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N2601設計基準1.供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS2. CDS 將設置于化學房內(nèi)：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房；3. 設備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材，內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì)；4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點；5. 過濾器：配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼；6. 供液泵：每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進口隔膜泵；7. Empty Sensor & Level Sensor：酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān)；8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能：每種化學液體配兩個桶（自動切換）、配兩臺泵（一用一備）、帶過濾器；系統(tǒng)控制單元：配帶OMRON 8”彩色觸摸屏，OMRON品牌PLC系統(tǒng)；2. 操作模式： CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，兼具自動化...
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最新新聞資訊2017.01.11

時間: 2017-01-11
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半導體行業(yè)最新新聞資訊

2017年力拚轉(zhuǎn)型　臺系IC設計搶增第二專長

在引進大陸資金無望后，加上聯(lián)發(fā)科集團幾乎已占臺灣IC設計產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值逾50%，臺系IC設計公司2017年力拚轉(zhuǎn)型的計劃必須再加快腳步，尤其是面對大陸同業(yè)的拔樁、殺價競爭，若不試圖技術(shù)升級、尋求新的產(chǎn)品市場藍海以降低產(chǎn)品太過單一的風險，那公司營運逐步衰退將是必然的結(jié)局。面對物聯(lián)網(wǎng)(IoT)世代商機逐步發(fā)酵，加上不少新的利基型芯片需求也因終端4C產(chǎn)品市場互相跨界而興起，在2016、2017年力圖轉(zhuǎn)型的臺系IC設計公司正逐步累積化危機為轉(zhuǎn)機，靜待日后收割成果。

臺系IC設計業(yè)者指出，單靠1個產(chǎn)品及市場或許可以成就公司短期業(yè)績的爆發(fā)，但就長期而言，僅靠單腳站立的公司營運結(jié)構(gòu)勢必較難擋大環(huán)境的景氣變化及產(chǎn)品新舊交替的興衰考驗，只是，若要有更多元化的產(chǎn)品及市場策略，背后需有更多的研發(fā)團隊資源來支持。在遭遇資本市場評價持續(xù)低落以及公司本身營運每況愈下的情況下，臺系IC設計公司必須改正過去短視成長的毛病，轉(zhuǎn)型再出發(fā)已成當務之急，臺系IC設計公司也正努力借鏡臺灣工業(yè)電腦產(chǎn)業(yè)的成功轉(zhuǎn)型之路。（出自：Digitimes）

三星搶占汽車芯片大蛋糕

近日，韓國媒體報道三星將從2018年開始，向奧迪供應Exynos處理器，共同打造無人駕駛汽車。其實在去年早些時候就已經(jīng)有新聞報道，三星專門成立了一個工作小組，用來研發(fā)無人駕駛汽車芯片及傳感器。

雖然三星進軍無人駕駛汽車領(lǐng)域的節(jié)奏相對于其他芯片巨頭有點慢，但是隨著最近無人駕駛的新聞越來越多，我們也會發(fā)現(xiàn)三星開始在汽車芯片上的有了新的進展。（出自：36kr）

亞馬遜悄然收購AI安全公司harvest.ai 增強云服務安全

據(jù)外媒TechCrunch報道，亞馬遜的云服務部門AWS很可能已經(jīng)悄然收購了網(wǎng)絡安全公司harvest.ai。

harvest.ai創(chuàng)始團隊中包括兩位前NSA員工，他們用機器學習和人工智能的方式，分析一家公司關(guān)鍵IP上的用戶行為，從而識別和阻止有針對性的攻擊，防止信息泄露。

harvest.ai的旗艦產(chǎn)品是MACIE Analytics。它使用AI來實時監(jiān)控一家公司的知識產(chǎn)權(quán)被訪問情況，評估是誰以及在何時查看、復制或移動特定文檔，以便識別可疑的行為模式，在數(shù)據(jù)泄露事件發(fā)生之前就阻止 它。這種服務是打擊內(nèi)部風險的一種方式。（出自：雷鋒網(wǎng)）

高通推自有無人機導航技術(shù) 可自動判斷障礙物避免碰撞

無人機(Drone)成為CES 2017展出一大亮點，高通(Qualcomm)雖非無人機實際生產(chǎn)商，但也在CES 2017中發(fā)表一款稱為“高通飛行無人機平臺”(Snapdragon Flight Drone Platform)的全新無人機技術(shù)，能夠提供所搭載無人機機器學習(ML)與飛行控制支援，有助無人機飛行時自動判斷前方障礙物，避免遭遇飛行碰撞風險。（出自：Digitimes）

海潤光伏子公司1.37億收購兆晶光電

海潤光伏又有新動作。1月9日晚間海潤光伏發(fā)布公告稱，子公司海潤新能源科技有限公司（以下簡稱“海潤新能源”）與營口晶晶光電科技有限公司（以下簡稱“晶晶光電”）擬就國電兆晶光電科技江蘇有限公司（以下簡稱“兆晶光電”）51％股權(quán)收購事宜簽署了《預收購協(xié)議》，協(xié)議約定，公司擬以不超過1．37億元的價格收購營口晶晶光電科技有限公司所持有的國電兆晶光電科技江蘇有限公司51％股權(quán)。

據(jù)了解，兆晶光電是2010年成立的一家光伏組件研發(fā)與生產(chǎn)企業(yè)。目前由國電光伏和晶晶光電共同出資，注冊資本金人民幣3億元，其中國電光伏出資1．53億元占51％股權(quán)，晶晶光電出資1．47億元占49％股權(quán)。海潤新能源與晶晶光電簽訂了《股權(quán)轉(zhuǎn)讓合同》，晶晶光電將所持有的目標公司49％股權(quán)轉(zhuǎn)讓給海潤新能源。晶晶光電目前正進行收購國電光伏所持有的51％目標公司股權(quán)，收購完成后，晶晶光電將51％目標公司股權(quán)再轉(zhuǎn)讓給海潤新能源。（出自：北京商報）

22億新能源項目落戶江蘇揚州開發(fā)區(qū) 太陽能硅片產(chǎn)能將擴大到3GW

近日，亞太資源開發(fā)投資集團旗下江蘇順風清潔能源集團與揚州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)簽署榮德3GW太陽能硅片和亞太資源低碳示范社區(qū)投資協(xié)議，計劃總投資22億元。市委書記謝正義，副市長、開發(fā)區(qū)黨工委書記丁一，亞太資源開發(fā)投資集團董事局主席鄭建明出席簽約儀式。（出自：揚州晚報）

印度將招標近3吉瓦新太陽能項目

印度太陽能公司(SECI)本周一宣布將招標2.3GW的新太陽能項目。而泰米爾納德邦電力公司(TENGEDCO)則剛啟動了在該州500兆瓦光伏項目的招標。這兩項招標行動相加，代表著2.8GW的多個公用事業(yè)規(guī)模的新太陽能光伏項目。（出自：pv-magazine）

超多維攜富智康、天馬、夢工廠共建3D生態(tài)圈

深圳超多維光電子有限公司（超多維SuperD）日前宣布，正式攜手富智康集團有限公司（富智康）、天馬微電子股份有限公司（天馬）、夢工廠，打造全球首個裸眼3D生態(tài)圈，并吹響“共邀、共創(chuàng)、共贏”的號角激勵更多合作伙伴加入，將裸眼3D全面市場化，相關(guān)的裸眼3D設備、3D內(nèi)容等3D生態(tài)圈圍繞技術(shù)、產(chǎn)業(yè)工程、產(chǎn)品、內(nèi)容服務、開發(fā)者和網(wǎng)絡等六大平臺進行布局。（出自：SEMI中國）

蓋板玻璃投資熱再起 北玻股份、彩虹集團南下?lián)平?/span>

蓋板玻璃行業(yè)剛進入新年就迎來新的投資熱情，北玻股份、彩虹集團近期都宣布增加投資，于南方地區(qū)開展電子消費品蓋板玻璃業(yè)務，開始南下?lián)平鸩椒ァ?span style="margin: 0px; padding: 0px; line-height: 21px; font-family: Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 10px;">（出自：旭日顯示與觸摸）

京東方物聯(lián)網(wǎng)透明顯示系統(tǒng)整體解決方案在日本面市

近日，BOE（京東方）的一款黑科技——物聯(lián)網(wǎng)透明顯示系統(tǒng)整體解決方案在日本引起關(guān)注。傳統(tǒng)的顯示屏被BOE（京東方）玩出了新花樣。

（出自：OFweek 顯示網(wǎng)）

（項目來自網(wǎng)絡，由華林科納半導體論壇整理發(fā)布，內(nèi)容僅供參考，謝謝！）

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