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始于90年代末

濕法制程整體解決方案提供商

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發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領(lǐng)域,濕法設(shè)備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展,濕法設(shè)備已經(jīng)成為L(zhǎng)ED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目需求的全自動(dòng)濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)成套設(shè)備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺(tái)圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測(cè)試。 CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應(yīng)用領(lǐng)域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進(jìn)封裝等專有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動(dòng)傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點(diǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨(dú)立密封,具有多種功能可實(shí)現(xiàn)晶圓干進(jìn)干出采用工控機(jī)控制,功能強(qiáng)大,操作簡(jiǎn)便可根據(jù)用戶要求提供個(gè)性化解決方案設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 126xa.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(126xa.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)清洗設(shè)備解決方案。
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺(tái)結(jié)合微組裝工藝對(duì)鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應(yīng)用要求等特點(diǎn),在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個(gè)部分組成,一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導(dǎo)線電刷、N2 保護(hù)單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體,二為三角形槽體、陽(yáng)極和電力線擋板組成的陽(yáng)極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下:從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應(yīng)用分析可以看出,采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢(shì)。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實(shí)現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護(hù)功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使槽內(nèi)電場(chǎng)不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進(jìn)行鍍液噴射,實(shí)現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設(shè)計(jì)最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢(shì)斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu),鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場(chǎng)環(huán)境。通過進(jìn)行相關(guān)模擬、仿真和驗(yàn)證,鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu),可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場(chǎng)。從而通過改變流場(chǎng)的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點(diǎn)可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進(jìn)行晶圓電鍍工藝處理,由于結(jié)構(gòu)上的特點(diǎn),該方法經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證具有:①結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應(yīng)于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時(shí)可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應(yīng)用,產(chǎn)品已通過技術(shù)定型鑒定和用戶驗(yàn)收。實(shí)現(xiàn)的主要工藝指標(biāo):最...
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機(jī)1. 應(yīng)用范圍:l 本機(jī)臺(tái)適用於半導(dǎo)體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺(tái),可同Run 50片.l 可對(duì)旋乾步驟進(jìn)行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設(shè)備已超過20年以上的應(yīng)用馬達(dá)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì), 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計(jì), 震動(dòng)值均控制於300 um 以下.l 高潔淨(jìng)設(shè)計(jì),微塵控制於每次運(yùn)轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機(jī)臺(tái)內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達(dá): DC無刷馬達(dá)750Wl 真空負(fù)壓軸封設(shè)計(jì),隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測(cè)保護(hù)(加熱器空燒保護(hù))l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關(guān)90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動(dòng)態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動(dòng)異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機(jī)+ PLC可程式自動(dòng)化控制器(人機(jī) Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲(chǔ)存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?#216; 儲(chǔ)存能力記憶模組...
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機(jī)-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長(zhǎng):?jiǎn)纹角逑囱b置的優(yōu)點(diǎn)(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對(duì)應(yīng))例:附著粒子數(shù)…10個(gè)/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個(gè)/W2.藥液純水的消費(fèi)量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個(gè)客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強(qiáng)制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體清洗解決方案。
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 03 - 07
自動(dòng)供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng) 適用對(duì)象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng)設(shè)備型號(hào)CSE-CDS-N1507設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡(jiǎn)稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房?jī)?nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測(cè)器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶(自動(dòng)切換)、配兩臺(tái)泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動(dòng)化與親和力。在...
發(fā)布時(shí)間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機(jī)-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動(dòng)單片式腐蝕清洗機(jī)應(yīng)用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進(jìn)封裝等  設(shè) 備 名 稱CSE-單片清洗機(jī)類  型單片式適 用 領(lǐng) 域半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設(shè)備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時(shí)間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點(diǎn)1、單片處理時(shí)間短(相較于槽式清洗機(jī))2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠(yuǎn)低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu),占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體官網(wǎng),關(guān)注http://126xa.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動(dòng)供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對(duì)象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設(shè)備型號(hào)CSE-CDS-N2601設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡(jiǎn)稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房?jī)?nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測(cè)器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶(自動(dòng)切換)、配兩臺(tái)泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動(dòng)化...
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行業(yè)新聞:廣州半導(dǎo)體協(xié)會(huì)成立,為廣州注入“芯”動(dòng)能

時(shí)間: 2018-06-05
點(diǎn)擊次數(shù): 133

6月2日至3日,廣州市半導(dǎo)體座談會(huì)、廣州半導(dǎo)體高峰論壇在黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)舉行,廣州市半導(dǎo)體協(xié)會(huì)在該區(qū)宣布正式成立。該協(xié)會(huì)將帶動(dòng)打造廣州半導(dǎo)體發(fā)展行業(yè)聯(lián)盟,構(gòu)建協(xié)同發(fā)展的產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈,推動(dòng)廣州半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)跨越式發(fā)展,對(duì)本地半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有里程碑意義。

中國(guó)科學(xué)院院士、復(fù)旦大學(xué)校長(zhǎng)許寧生,國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司總裁丁文武、中科院微電子所所長(zhǎng)葉甜春、復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院執(zhí)行院長(zhǎng)張衛(wèi)、中山大學(xué)微電子學(xué)院院長(zhǎng)鄧少芝等10余名院士專家、50余家市內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)代表及來自社會(huì)各界的160名代表參加了本次活動(dòng)。

汽車電子芯片可作為穗差異化發(fā)展突破口

在6月2日舉行的廣州市半導(dǎo)體座談會(huì)上,來自業(yè)界、學(xué)界、投資界和政界的近30位嘉賓圍繞全球視野下廣州的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),尤其對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)應(yīng)如何謀篇布局展開了熱烈討論。

“我很高興看到廣州的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)動(dòng)起來了?!敝锌圃何㈦娮铀L(zhǎng)葉甜春認(rèn)為,集成電路是全球化的產(chǎn)業(yè),沒有一個(gè)地方能夠全部做全,不如選擇在一個(gè)點(diǎn)上做深做透,關(guān)鍵是要差異化,要比競(jìng)爭(zhēng)者更先進(jìn)、更有競(jìng)爭(zhēng)力、更有引領(lǐng)性,做到不可替代。

粵芯CEO、廣州開發(fā)區(qū)集成電路價(jià)值創(chuàng)新園顧問陳衛(wèi)在發(fā)言中說道:“汽車電子芯片有這么大的需求,為什么中國(guó)的IC設(shè)計(jì)廠進(jìn)不去?就是因?yàn)槲覀內(nèi)狈ψ约旱恼J(rèn)證平臺(tái),終端客戶只能用國(guó)外的產(chǎn)品?!彼嘎?,粵芯正與廣汽、北汽商談,希望合作打造一個(gè)有公信力的認(rèn)證平臺(tái),為中國(guó)自己的IC設(shè)計(jì)企業(yè)服務(wù),使國(guó)內(nèi)的汽車企業(yè)都能放心使用國(guó)產(chǎn)的產(chǎn)品。此外,廣州的資本、市場(chǎng)雙雙在線,搭建這樣一個(gè)平臺(tái),還有助于培養(yǎng)更多的人才?!皬幕浶咀銎?,我們要做差異化?!标愋l(wèi)表示。

在中國(guó)科學(xué)院院士、復(fù)旦大學(xué)校長(zhǎng)許寧生看來,中國(guó)的需求是全世界產(chǎn)業(yè)發(fā)展的動(dòng)力,“我們到了參與全球競(jìng)爭(zhēng)最尖端、最核心技術(shù)的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn),應(yīng)該借這個(gè)機(jī)會(huì)形成自己的核心競(jìng)爭(zhēng)力?!?/p>

廣東省經(jīng)信委原黨組副書記、巡視員鄒生表示,接下來重點(diǎn)要做三件事:一是充分發(fā)揮廣東產(chǎn)業(yè)基金的作用,抓緊投資芯片項(xiàng)目;二是借助目前的東風(fēng),做好廣州芯片設(shè)計(jì)的產(chǎn)業(yè)整合;三是抓好應(yīng)用企業(yè)的對(duì)接,發(fā)揮廣東制造業(yè)大省的優(yōu)勢(shì),瞄準(zhǔn)智能制造、物聯(lián)網(wǎng)等,把人才聚集起來。

廣州市半導(dǎo)體協(xié)會(huì)凝結(jié)粵港澳大灣區(qū)價(jià)值創(chuàng)新合力

6月3日,廣州市半導(dǎo)體協(xié)會(huì)在黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)宣布成立,并舉行揭牌儀式。該協(xié)會(huì)由粵芯發(fā)起并任會(huì)長(zhǎng)單位,51個(gè)單位共同創(chuàng)會(huì)。

翻閱創(chuàng)會(huì)會(huì)員名單,其中既有安凱微電子、昂寶電子等多家黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)電子信息企業(yè),還有來自深圳、佛山的上下游企業(yè);既有華南理工大學(xué)、中山大學(xué)、華南師范大學(xué)、廣州大學(xué)等本地高校院所,澳門大學(xué)亦加入其中,集結(jié)了粵港澳大灣區(qū)的行業(yè)力量。

復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院執(zhí)行院長(zhǎng)張衛(wèi)認(rèn)為,廣州的集成電路產(chǎn)業(yè)要放在廣東省、珠三角、粵港澳大灣區(qū)的背景下來看,“廣州將來要成為粵港澳大灣區(qū)的一個(gè)核心,粵芯應(yīng)該成為我們粵港澳大灣區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)價(jià)值創(chuàng)新平臺(tái)的核心。”

“今天廣州半導(dǎo)體協(xié)會(huì)成立后,各方面的資源開始向廣州集聚。我們希望廣州成為國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)的一支主力軍,不只是生力軍,共同把中國(guó)的集成電路產(chǎn)業(yè)帶上一個(gè)新高度?!比~甜春表示。

黃埔區(qū)區(qū)長(zhǎng)、廣州開發(fā)區(qū)管委會(huì)常務(wù)副主任陳小華在致辭中提到,希望各位專家、企業(yè)家把更多的科研成果、產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目“投資到黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)這個(gè)離成功最近的地方,共謀產(chǎn)業(yè)發(fā)展,共創(chuàng)美好未來,共同推動(dòng)廣州‘芯’強(qiáng)起來?!?/p>

據(jù)介紹,該協(xié)會(huì)將承擔(dān)會(huì)員培訓(xùn)交流、市場(chǎng)評(píng)估、會(huì)展招商、行業(yè)統(tǒng)計(jì)調(diào)查、企業(yè)和產(chǎn)品認(rèn)定評(píng)測(cè)等業(yè)務(wù)職能。“協(xié)會(huì)將發(fā)揮溝通紐帶的作用,為政府出謀劃策,與中國(guó)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)做好對(duì)接,為產(chǎn)業(yè)鏈上的企業(yè)提供服務(wù)。”陳衛(wèi)介紹。

廣州半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁

近年來,廣州牢牢抓住半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)新一輪發(fā)展的“春天”,提前布局集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展高地,加快建設(shè)“中國(guó)制造2025”試點(diǎn)示范城市,先后出臺(tái)了《廣州市鼓勵(lì)發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)若干規(guī)定》、《廣州市加快IAB產(chǎn)業(yè)發(fā)展五年行動(dòng)計(jì)劃》,明確將集成電路作為產(chǎn)業(yè)發(fā)展的領(lǐng)域重點(diǎn)和方向。

經(jīng)過不懈努力,廣州在集成電路設(shè)計(jì)、封裝和測(cè)試,以及半導(dǎo)體器件、光電器件等領(lǐng)域逐步實(shí)現(xiàn)了從無到有、漸具規(guī)模。廣州IAB產(chǎn)業(yè)計(jì)劃的實(shí)施,拉開了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓄勢(shì)而發(fā)的序幕。

2017年底,黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)引進(jìn)了廣州市首個(gè)晶圓制造項(xiàng)目——粵芯項(xiàng)目,落地中新廣州知識(shí)城,將建成國(guó)內(nèi)第一座以虛擬IDM為營(yíng)運(yùn)策略的12寸芯片廠,也是廣州第一條12寸芯片生產(chǎn)線,填補(bǔ)了廣州制造業(yè)“缺芯”空白。

該項(xiàng)目建成達(dá)產(chǎn)后,將實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)40000片12英寸晶圓的生產(chǎn)能力,將滿足物聯(lián)網(wǎng)、汽車電子等創(chuàng)新應(yīng)用的模擬芯片需求,實(shí)現(xiàn)百億級(jí)的銷售目標(biāo),進(jìn)一步帶動(dòng)上下游企業(yè)形成千億元產(chǎn)值的規(guī)模。

在粵芯項(xiàng)目的帶動(dòng)下,15家關(guān)聯(lián)企業(yè)簽約落戶在此,包括14個(gè)產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目和一只規(guī)模達(dá)50億元的集成電路產(chǎn)業(yè)基金,構(gòu)建起“芯片設(shè)計(jì)—晶圓制造—封裝測(cè)試—終端應(yīng)用”為一體的作業(yè)模式,形成產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目集聚集群集約的全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)圈,這里將建設(shè)成為廣州創(chuàng)“芯”智造園。 (出自:南方網(wǎng)

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