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始于90年代末

濕法制程整體解決方案提供商

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發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領(lǐng)域,濕法設(shè)備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展,濕法設(shè)備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,如SPM酸清洗、有機清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標準成套設(shè)備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機設(shè)備 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機設(shè)備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應用領(lǐng)域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進封裝等專有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨立密封,具有多種功能可實現(xiàn)晶圓干進干出采用工控機控制,功能強大,操作簡便可根據(jù)用戶要求提供個性化解決方案設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導體設(shè)備有限公司 126xa.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(126xa.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費的半導體行業(yè)相關(guān)清洗設(shè)備解決方案。
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺結(jié)合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應用要求等特點,在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個部分組成,一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導線電刷、N2 保護單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體,二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下:從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應用分析可以看出,采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉(zhuǎn)運動使槽內(nèi)電場不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進行鍍液噴射,實現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設(shè)計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu),鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進行相關(guān)模擬、仿真和驗證,鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu),可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進行晶圓電鍍工藝處理,由于結(jié)構(gòu)上的特點,該方法經(jīng)實驗驗證具有:①結(jié)構(gòu)簡單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應用,產(chǎn)品已通過技術(shù)定型鑒定和用戶驗收。實現(xiàn)的主要工藝指標:最...
發(fā)布時間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機1. 應用范圍:l 本機臺適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機臺,可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設(shè)備已超過20年以上的應用馬達控制系統(tǒng)設(shè)計, 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設(shè)計,微塵控制於每次運轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機臺內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設(shè)計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關(guān)90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長:單片式清洗裝置的優(yōu)點(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對應)例:附著粒子數(shù)…10個/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J?、自動控制模式設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N1507設(shè)計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動單片式腐蝕清洗機應用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應用領(lǐng)域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進封裝等  設(shè) 備 名 稱CSE-單片清洗機類  型單片式適 用 領(lǐng) 域半導體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設(shè)備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短(相較于槽式清洗機)2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu),占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導體官網(wǎng),關(guān)注http://126xa.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能。控制模式:手動控制模式、自動控制模式 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N2601設(shè)計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化...
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這項技術(shù),中國半導體企業(yè)不再是跟隨者!

時間: 2018-09-17
點擊次數(shù): 214

“屏下光學指紋識別技術(shù),是由中國企業(yè)搶在蘋果、三星之前商用成功的,其過程的辛苦不為人知。我們歷經(jīng)了5年的摸索,中間也有人曾質(zhì)疑過這項技術(shù)是做不到的。做到業(yè)界首例對匯頂來說也是一個質(zhì)的轉(zhuǎn)變,這場仗打下來,大家的信心已完全不同。這也是中國半導體產(chǎn)業(yè)的進步,今后大家會更有膽識和信心去創(chuàng)新。”

近日在匯頂科技(Goodix)舉辦的一場媒體溝通會上,匯頂科技首席技術(shù)官(CTO)皮波博士發(fā)出這樣的感慨。

臥薪嘗膽一年,拯救手機界對屏下指紋的信心

上半年,Android陣營指紋識別方案全球第一供應商的匯頂科技,經(jīng)歷了近幾年來營利最嚴重的一次下滑。主要原因是下游手機市場增幅下滑,電容指紋識別市場飽和,3D人臉識別距離量產(chǎn)成熟還有一定距離……但他們這一年對研發(fā)的大力投入,卻讓屏下光學指紋技術(shù)成功規(guī)模商用,2019年整個終端市場預期出貨量達1億臺。

“400多人的研發(fā)團隊連續(xù)幾個月工作到深夜三、四點,甚至睡在實驗室,我們的工程師大多是80后,他們非常有理想、熱情和能力?!?匯頂科技董事長張帆在媒體面前毫不吝惜對研發(fā)團隊贊美之詞,“公司將對他們實施新一輪股權(quán)激勵,年終獎會有傾斜,公司還會推出特別現(xiàn)金獎給光學團隊?!?/p>

匯頂5年前開始研究屏下光學指紋,中間做過兩代產(chǎn)品,2017年還在MWC展示了DEMO機,但當時覺得成熟度還不夠,沒有推向市場。然而就在一年前,蘋果新機iPhone X采用3D人臉識別后,國內(nèi)手機業(yè)界一度對屏下指紋失去信心,但經(jīng)過一年的市場驗證,vivo來說從年初至今已發(fā)布4款搭載屏下光學指紋識別技術(shù)的機型,華為、小米的旗艦機型也采用了匯頂方案……

這項技術(shù),中國半導體企業(yè)不再是跟隨者!

匯頂公司內(nèi)部的專利墻,其中屏下光學指紋已經(jīng)申請、獲得國際、國內(nèi)專利270多項

光學 Vs 超聲波

目前屏下指紋識別技術(shù)主要有超聲波和光學兩種,目前哪種更具優(yōu)勢呢?匯頂科技生物識別產(chǎn)品開發(fā)部副總裁葉金春認為,過去屏下光學指紋的主要瓶頸在于強光環(huán)境下的干擾、干手指(有些人天生皮膚干)以及低溫環(huán)境下的障礙,這些問題匯頂已基本克服。

現(xiàn)在無論是在綜合性能上還是成本上,屏下光學都有著優(yōu)勢,主要表現(xiàn)在以下三點:

1、屏下光學的綜合體驗無論是從識別率還是解鎖速度,都已經(jīng)接近電容指紋識別方案,平均解鎖速度可達 0.35秒,并且還有進步空間;

2、屏下光學可以適用于OLED軟、硬屏,而超聲波不能用于硬屏;

3、匯頂屏下光學做到了屏體分離,不需要像超聲波方案那樣貼合到屏上,這大大減輕了商用難度,降低了生產(chǎn)和維修成本,非常受終端廠商歡迎。

此外,由于超聲波指紋識別是一個全新的技術(shù),目前還沒有看到成功商用案例。而且需要全新產(chǎn)線,千萬級的出貨對于超聲波來說可能會是一個大挑戰(zhàn),而屏下光學用的則是完全成熟的產(chǎn)業(yè)鏈。匯頂科技首席財務官(CFO)陳恒真女士表示,目前匯頂?shù)钠料鹿鈱W方案成本已經(jīng)做到了8美金以下。

“這一點從手機廠商的選擇就能看出,他們會對產(chǎn)品體驗做嚴格的評估,以滿足消費者的要求,”皮波博士補充到, “以目前手機廠商的評估和消費者大數(shù)據(jù)反饋來說,大家都已經(jīng)對屏下光學指紋有了充分的信心?!?/p>

一切為了客戶

對于業(yè)界比較期待的一些新技術(shù),比如LCD屏下指紋識別、全屏指紋識別等,皮波博士表示,LCD做屏下指紋困難巨大,目前沒有明確的辦法,但匯頂有信心克服。OLED屏比LCD貴20塊美金左右,所以做LCD方案在成本上能夠更放開手去做。因為涉及到客戶,皮波博士沒有透露具體時間。

而全屏指紋識別,或者說多區(qū)域屏下識別,技術(shù)上都能實現(xiàn),但成本肯定會更高,全屏指紋識別手機也會賣的更貴。因此手機廠商會從各方面去考量,消費者是否真的期待這項功能,并且能接受價格。

另一個例子是匯頂?shù)娜蚴讋?chuàng)活體指紋識別技術(shù)(Live Finger Detection?),將指紋和心率檢測集成在一起,能夠提供更高的移動支付安全性,這項技術(shù)兩年前已經(jīng)實現(xiàn),并已成功商用于中興、魅族等品牌的旗艦機型。

“所以說一切新技術(shù)能否商用,都是由市場和消費者決定的,”皮波博士補充道,“我們的最終目的是滿足客戶需求?!?/p>

匯頂?shù)钠料鹿鈱W指紋方案是目前出貨量最大、商用機型最多的,CIS采用0.18微米工藝,與多家Foundry都有合作,與下游模組廠也密切合作,力保供應穩(wěn)定。

3D人臉識別

iPhone X推出后,3D人臉識別并不受用戶歡迎,大家普遍想掌握認證的過程,目前根據(jù)對生物識別技術(shù)的調(diào)查,最受歡迎的還是指紋。

因此業(yè)界認為多重生物識別組合才是最被認可的手機加密方式,很多手機廠商也將采用“屏下光學指紋+人臉識別”的方案。此前董事長張帆在接受媒體采訪時,也表示公司正在研發(fā)3D結(jié)構(gòu)光和TOF,并且最快將于今年年底發(fā)布第一代產(chǎn)品。

皮波博士認為,未來多生物識別的方案是大趨勢,匯頂將為客戶提供更多選擇。針對目前客戶對3D人臉識別反映的“成本高、識別率低、功率消耗大”等問題,匯頂方案都會有所改進。

布局物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域

面對600億臺終端的龐大市場,匯頂也在積極布局物聯(lián)網(wǎng)(IoT)。據(jù)介紹,匯頂在美國已經(jīng)有一個射頻(RF)研發(fā)團隊,日前還收購了一家做協(xié)議棧技術(shù)的德國公司,這構(gòu)成了匯頂IoT的核心技術(shù)團隊。

葉金春表示,匯頂會在IoT領(lǐng)域聚焦終端節(jié)點和邊緣計算部分,包括:

1、傳感器(滿足數(shù)據(jù)感知需求)

2、低功耗無線(滿足短距離數(shù)據(jù)傳輸需求)

3、MCU的邊緣計算

4、安全加密(滿足數(shù)據(jù)安全需求,安全會是未來一個重要考量)。

最后,皮波博士表示,過去電容觸控、指紋識別我們是慢慢追趕別人,這一次屏下光學指紋則是名副其實的第一名。當前,中國終端品牌已經(jīng)越來越了解消費者需求,他們在做產(chǎn)品創(chuàng)新時也更加自信。先入為王,希望中國科技公司更多地進行一線創(chuàng)新,爭當先行者(First Mover),而不是國外廠商的跟隨者(Follower)。

來源:電工工程專輯



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