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Products 產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品名稱：

零部件清洗機CSE
上市日期： 2016-12-05

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零部件清洗機_華林科納CSE

CleanStep的零部件被設(shè)計用于PECVD刻蝕清洗設(shè)備，以及石墨舟、石 英舟、碳化硅舟等擴散舟的刻蝕和清洗設(shè)備。

優(yōu)點

> 通過關(guān)閉的工藝腔室的安全操作，加載和僅一次工藝腔室 沖洗之后卸載，完成整個工藝過程。

> 安全門自鎖裝置

> 工藝腔室保護(hù)防止水溢流

> 排風(fēng)監(jiān)控部件

> 用于門自鎖的電導(dǎo)傳感器（僅適用于石英舟清洗設(shè)備）

> 簡便、安全操作的高品質(zhì)觸摸屏

> 很少的化學(xué)品消耗產(chǎn)生最小的生產(chǎn)費用，與浸泡式工藝相 比至少節(jié)約2-3倍

> 減少了操作次數(shù)

> 化學(xué)品的消耗，與浸泡式工藝相比要少于大約10倍

> 穩(wěn)定的清洗工藝，水的消耗，與浸泡式工藝相比少于2倍

> 設(shè)備高利用率和低維修率，得益于它獨特的模塊化設(shè)計和 長壽命零部件的應(yīng)用

> 最佳的占地

應(yīng)用

CleanStep的零部件被設(shè)計用于PECVD刻蝕清洗設(shè)備，以及石墨舟、石英舟、碳化硅舟等擴散舟的 刻蝕和清洗設(shè)備。標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計的設(shè)備是用于2個石墨舟或4個石英舟的清洗。同時也強有力的證明 了用噴淋工藝代替浸泡工藝不僅節(jié)約了工藝時間，同時也節(jié)約了化學(xué)品的消耗量。

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選項

> 廢液槽起重裝置

> 系統(tǒng)外殼結(jié)構(gòu)[FM認(rèn)可材質(zhì)]

> HF有毒氣體檢測裝置

> Centrotherm 一套石墨舟花籃可裝載19片到21片晶圓?可拆卸石墨舟?

> Centrotherm 一套石墨舟可裝載23片?可拆卸石墨舟?

> 石英部件清洗的石英舟夾具

> 漏液盤連接閥

> 電阻率監(jiān)測裝置

> 手動加載花籃干燥的烘干箱

> 30升的HNO3 / HF/ DI-H2O的預(yù)備槽

> 獨立的設(shè)備化學(xué)品供應(yīng)用于回收用過的HF

> 氮氧化物有毒氣體檢測裝置

> 晶圓背面腐蝕的ACL片盒夾

> N2 凈化

更多的半導(dǎo)體零部件清洗機設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)（126xa.cn），現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導(dǎo)體清洗解決方案。
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2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機-華林科納CSE華林科納（江蘇）半導(dǎo)體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長：單片式清洗裝置的優(yōu)點（與浸漬.槽式比較）1.晶片表面的微粒數(shù)非常少（到25nm可對應(yīng)）例：附著粒子數(shù)…10個/W以下（0.08UM以上粒子）（參考）槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…（例）1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size（根據(jù)每個客戶可以定制） 液體濺射（塵埃強制除去）  （推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)（www.hlkncas.com），現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096；18913575037可立即獲取免費的半導(dǎo)體清洗解決方案。
2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)（CDS）-華林科納（江蘇）CSEChemical Dispense System System 華林科納（江蘇）半導(dǎo)體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途：本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送，經(jīng)管道至設(shè)備；具有自動化程度高，配比精確，操作簡便等特點；具有良好的耐腐蝕性能。控制模式：手動控制模式、自動控制模式設(shè)備名稱華林科納（江蘇）CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N1507設(shè)計基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi)：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房；3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10...
2016 - 03 - 08
IPA干燥設(shè)備-華林科納CSE華林科納（江蘇）CSE-IPA干燥設(shè)備主要用于材料加工 太陽能電池片 分立器件 GPP等行業(yè)中晶片的沖洗干燥工藝，單臺產(chǎn)量大，效率高設(shè)備名稱華林科納（江蘇）CSE-IPA干燥設(shè)備應(yīng)用范圍適用于2-8”圓片及方片動平衡精度高規(guī)格工藝時間： 一般親水性晶圓片： ≤10 增加 @ 0.12 μm疏水性晶圓片： ≤30 增加 @ 0.12 μm金屬含量： 任何金屬≤ 1?1010 atoms / cm2 增加干燥斑點： 干燥后無斑點IPA 消耗量： ≤ 30 ml / run 設(shè)備制造商華林科納（江蘇）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 126xa.cn 400-8768-096 ；18913575037IPA 干燥系統(tǒng)組成: IPA干燥工藝原理 01...
2016 - 03 - 07
刻蝕方法分為：干法刻蝕和濕法刻蝕，干法刻蝕是以等離子體進(jìn)行薄膜刻蝕的技術(shù)，一般是借助等離子體中產(chǎn)生的粒子轟擊刻蝕區(qū)，它是各向異性的刻蝕技術(shù)，即在被刻蝕的區(qū)域內(nèi)，各個方向上的刻蝕速度不同，通常Si3N4、多晶硅、金屬以及合金材料采用干法刻蝕技術(shù)；濕法刻蝕是將被刻蝕材料浸泡在腐蝕液內(nèi)進(jìn)行腐蝕的技術(shù)，這是各向同性的刻蝕方法，利用化學(xué)反應(yīng)過程去除待刻蝕區(qū)域的薄膜材料，通常SiO2采用濕法刻蝕技術(shù)，有時金屬鋁也采用濕法刻蝕技術(shù)。下面分別介紹各種薄膜的腐蝕方法流程：二氧化硅腐蝕：在二氧化硅硅片腐蝕機中進(jìn)行，腐蝕液是由HF、NH4F、與H2O按一定比例配成的緩沖溶液。腐蝕溫度一定時，腐蝕速率取決于腐蝕液的配比和SiO2摻雜情況。摻磷濃度越高，腐蝕越快，摻硼則相反。SiO2腐蝕速率對溫度最敏感，溫度越高，腐蝕越快。具體步驟為：1、將裝有待腐蝕硅片的片架放入浸潤劑（FUJI FILM DRIWEL）中浸泡1...
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