?金屬剝離清洗機-華林科納（江蘇）CSE
微機電系統(tǒng)（MEMS)是指用微機械加工技術制作的包括傳感器/微致動器/微能源/等微機械基本部分以及高性能的電子集成線路組成的微機電器件與裝置。
其典型的生產(chǎn)工藝流程為：成膜工藝（氧化/CVD:LPCVD PECVD/PVD:濺射/電鍍/摻雜：擴散 注入 退火）→光刻圖形（旋涂/光刻/顯影）→干法/濕法/ 刻蝕（濕法刻蝕/硅刻蝕/SiO?刻蝕/去膠清洗/金屬刻蝕/金屬剝離/RCA清洗）
設備名稱 | 華林科納（江蘇）CSE-金屬剝離清洗機 |
設備系列 | CSE-CX13系列 |
設備概況 | 尺寸(參考)：機臺尺寸 : 1750mmWx1400mmDx1900mmH（具體尺寸根據(jù)實際圖紙確定） 清洗量：6寸25裝花籃2籃； 重量：500Kg( 大約)； 工作環(huán)境：室內(nèi)放置； |
主體構造特點 | 外 殼：不銹鋼304 板組合焊接而成。 安全門：無安全門，采用敞開式設計； 管路系統(tǒng)：藥液管路采用不銹鋼管，純水管路采用CL-PVC管； 閥門：藥液管路閥門采用不銹鋼電磁閥門； 排 風：后下抽風，動力抽風法蘭位于機臺上部； 水汽槍：配有水氣槍各2把，分置于兩側； 隔板：藥液槽之間配有隔離板，防止藥液交叉污染； 照明：機臺上方配照明（與工作區(qū)隔離）； 機臺支腳：有滑輪裝置及固定裝置，并且有高低調(diào)整及鎖定功能。 三色警示燈置于機臺上方明顯處。 |
工作槽參數(shù) | 剝離洗槽 槽體：不銹鋼316，有效尺寸405×220×260mm； 化學藥品：剝離洗液； 藥液供液：人工手動加入； 工作溫度：60℃并可調(diào)；溫度可調(diào)； 加熱方式：五面體貼膜加熱/投入式加熱器加入熱； 液位控制：采用N2背壓數(shù)位檢測； 計時功能：工藝時間可設定，并可調(diào)，到設定時間后聲鳴提示，點擊按鈕后開始倒序計時； 批次記憶：藥液使用次數(shù)可記憶，藥液供入時間可記憶，設定次數(shù)和設定時間到后更換藥液； 排液：排液管道材質(zhì)為不銹鋼管，按鈕控制； 槽蓋：配有手動槽蓋； IPA槽 槽體：不銹鋼316，有效尺寸405×220×260mm； 化學藥品：IPA； 供液：手動供液 工作時間：約5min并可調(diào)； 工作溫度：常溫； 排放: 槽體底部單獨直排； QDR槽 槽體：長×寬×高= 405×220×260mm，NPP板焊接而成； 供水：雙管路自動供水,3/4供水管徑，1/2溢流給水管，氣動閥控制； 工作溫度：RT； 溢流方式：四面溢流,溢流口為波紋狀； 噴淋: 由槽體頂部兩側的DIW噴淋管和噴嘴實現(xiàn)； 鼓泡：槽底部安裝N2鼓泡系統(tǒng)，均勻鼓泡，也可根據(jù)需要關閉； 排放:氣動閥控制快速排放，N P P排放管路，快速排放時間≤7秒； 工藝流程：水滿→放入花籃→氮氣鼓泡打開→溢流漂洗＋氮氣鼓泡→快排閥打開，快速排放，→噴淋→快排閥關閉，同時底部注水，一次沖洗快排工藝結束； |
設備制造商 | 華林科納（江蘇）半導體設備有限公司 126xa.cn?400-8768-096 ；18913575037 |
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