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發(fā)布時間: 2016 - 03 - 14
2設(shè)備構(gòu)成及詳細(xì)技術(shù)說明2.1工藝說明 2.2.臺面結(jié)構(gòu)圖如下      3.設(shè)備說明3.1 排風(fēng)系統(tǒng)?●排風(fēng)裝置(排風(fēng)壓力、風(fēng)量根據(jù)實際情況或客戶要求設(shè)計)將設(shè)備內(nèi)揮發(fā)的有毒氣體抽到車間排風(fēng)管道或戶外(室外排放遵守國家環(huán)保要求),避免擴(kuò)散到室內(nèi);?●排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板,從而使排風(fēng)效果達(dá)到最佳;?●本體頂部后方自帶強(qiáng)力抽風(fēng)1個風(fēng)道口裝置(每個藥劑槽對應(yīng)一個),排風(fēng)口直徑大于或等于 200mm 與本體焊成一體;?●排風(fēng)口處設(shè)有手動調(diào)節(jié)風(fēng)門,操作人員可根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風(fēng)量;3.2設(shè)備防護(hù)門:?●本體前方安裝有防護(hù)隔離門,隔離門采用透明PVC板制成,前門可以輕松開合,在清洗過程中,隔離門關(guān)閉,以盡量改善工作環(huán)境并減小對人體的傷害. ?●形式:上下推拉門。3.3 給排水/廢液系統(tǒng)?●給水管路為一路去離子水;?●給排水排廢接頭均為活性連接;?●排放方式均采用氣動控制的方式來保證安全3.4 電氣控制系統(tǒng)?●采用優(yōu)質(zhì)PLC可編程控制器控制全操作過程, ?●人機(jī)界面為觸摸屏,接口中有手動操作、故障報警、安全保護(hù)等功能,各工作位過程完成提前提示報警,觸摸屏選用優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品;?●觸摸屏加鎖定,以防非授權(quán)人員修改或設(shè)定參數(shù);?●所有電控部分需獨立封閉,帶抽風(fēng)系統(tǒng),獨立的配電柜?●設(shè)備照明:設(shè)備其它部位--低電壓燈,根據(jù)工作需要可控照明;?●設(shè)備整體采取人性化設(shè)計,方便操作;并裝有漏電保護(hù)和聲光報警提示裝置,保證性能安全可靠;電控部分導(dǎo)線采用耐高溫、耐腐蝕的專用導(dǎo)線,電氣控制部分內(nèi)部還通有壓縮空氣保護(hù),可防水耐腐蝕;?●設(shè)備所有處于腐蝕腔中的線纜均通過PE管進(jìn)行保護(hù),免受腐蝕;?●設(shè)備具有良好的接地裝置;
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 14
設(shè)備概況:(僅做參考)主要功能:本設(shè)備主要手動搬運方式,通過對硅片腐蝕、漂洗、等方式進(jìn)行處理,從而達(dá)到一個用戶要求的效果。設(shè)備名稱:KOH  Etch刻蝕清洗機(jī)           設(shè)備型號:CSE-SC-NZD254整機(jī)尺寸(參考):自動設(shè)備約2500mm(L)×1800mm(W)×2400mm(H);被清洗硅片尺寸: 2--6寸(25片/籃)設(shè)備形式:室內(nèi)放置型;操作形式:手動各槽位主要技術(shù)工藝:設(shè)備組成:該設(shè)備主要由清洗部分、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成設(shè)備走向:方案圖按 “左進(jìn)右出”方式,另可按要求設(shè)計“右進(jìn)左出”方式;設(shè)備描述:此裝置是一個全自動的處理設(shè)備。8.0英寸大型觸摸屏(PROFACE/OMRON)顯示 / 檢測 / 操作每個槽前上方對應(yīng)操作按鈕,與觸摸屏互相配合主體材料:德國進(jìn)口10mmPP板,優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架,外包3mmPP板防腐;臺面板為德國10mm PP板;DIW管路及構(gòu)件采用日本進(jìn)口clean-PVC管材,需滿足18M去離子水水質(zhì)要求,酸堿管路材質(zhì)為進(jìn)口PFA/PVDF;采用國際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工,焊接組裝均在萬級凈化間內(nèi)完成;排風(fēng):位于機(jī)臺后上部工作照明:上方防酸照明三菱、歐姆龍 PLC控制。安全考慮:設(shè)有EMO(急停裝置), 強(qiáng)電弱點隔離所有電磁閥均高于工作槽體工作液面電控箱正壓裝置(CDA Purge)設(shè)備三層防漏  樓盤傾斜   漏液報警  設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi)排放管路加過濾裝置所有槽體折彎成型,可有效避免死角顆粒;更多化學(xué)品相關(guān)濕法腐蝕相關(guān)設(shè)備(KOH腐蝕刻蝕機(jī)、RCA清洗機(jī)、去膠機(jī)、外延片清洗機(jī)、酸堿腐蝕機(jī)、顯影機(jī)等)以及干燥設(shè)備(馬蘭戈尼干燥機(jī)Marangoni、單腔...
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隨著移動通信、高性能計算、汽車電子和物聯(lián)網(wǎng)等產(chǎn)業(yè)發(fā)展對半導(dǎo)體器件需求量的增加,其基礎(chǔ)材料硅片的需求將繼續(xù)增長?!?硅片需求繼續(xù)增長SEMI最近(2018年10月16日)對2018至2021年全球硅晶圓片出貨量進(jìn)行預(yù)測,2018年硅晶圓片出貨量將超過2017年創(chuàng)下歷史最高市場紀(jì)錄,并將持續(xù)到2021年。2018年至2021年全球硅片市場需求量顯示,2018年硅拋光片和外延片出貨量為12445百萬平方英寸,同比增長7.1%;2019年市場需求為13090百萬平方英寸,同比增長5.2%;2020年市場需求為13440百萬平方英寸,同比增長2.7%;2021年市場需求為13778百萬平方英寸,同比增長2.5%?!?全球12英寸硅晶圓需求強(qiáng)勁從技術(shù)和成本的角度看,硅片尺寸越大則每片硅片上可以制造的芯片數(shù)量就越多,從而制造成本就越低。因此,硅片尺寸的擴(kuò)大和芯片制程的減小是集成電路行業(yè)技術(shù)進(jìn)步的兩條主線。目前,市場主流硅片出貨已經(jīng)集中在8英寸、12英寸等大尺寸硅片上。而大尺寸硅片生產(chǎn)是我國集成電路發(fā)展最薄弱的環(huán)節(jié)。目前,中國12英寸大硅片幾乎100%依賴進(jìn)口,8英寸硅片90%依賴進(jìn)口。近幾年,隨著國家、地方、社會資本對半導(dǎo)體行業(yè)的大力投資,加上硅材料市場向好,投向硅片的資本越來越多。據(jù)不完全統(tǒng)計,國內(nèi)硅材料企業(yè)已經(jīng)投入和未來幾年計劃投入的總投資已超過700億元人民幣。中國12英寸硅片的國產(chǎn)化,將...
發(fā)布時間: 2018 - 10 - 22
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2017年,中國集成電路進(jìn)口金額2600億美元,遠(yuǎn)超石油進(jìn)口額。2014年出臺《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》,并成立國家集成電路產(chǎn)業(yè)基金,體現(xiàn)了政策的高度重視。2017年,全球晶圓制造材料市場規(guī)模260億美元,其中硅片市場規(guī)模90億美元,占比近30%。政策的重視與市場需求,驅(qū)動了FAB與大硅片項目的投資布局。中國FAB工廠項目與列表如下目前中國大陸共計有27座12英寸晶圓廠,18座8英寸晶圓,其中有10座12英寸晶圓廠及6座8英寸晶圓廠處于建設(shè)當(dāng)中。項目主要集中在北京、成都、重慶及江浙一帶。具體項目信息如下表所示:多數(shù)項目仍然在建設(shè)中,或處于初期產(chǎn)能爬升階段。在晶圓加工制程方面,中芯國際、華力微電子、武漢新芯、紫光集團(tuán)以及國內(nèi)三大存儲基地長江存儲、晉華集成、合肥長鑫正在進(jìn)入國際先進(jìn)制程,中國芯片自主制造已成進(jìn)行時。大硅片需求旺盛,市場強(qiáng)勁增長待上表所有Fab廠投產(chǎn)后,將多出185萬片/月的12英寸晶圓加工產(chǎn)能及35萬片/月的8英寸晶圓加工產(chǎn)能,這對于上游原材料——硅片的供應(yīng)提出了新的需求。而目前,全球硅片市場已經(jīng)處于供不應(yīng)求的狀態(tài)。國際硅片供片龍頭往往與晶圓加工大廠如臺積電、三星等建立著長期的供應(yīng)關(guān)系。在全球8英寸硅片缺貨的背景下,中國自主新建的Fab廠恐怕難以與臺積電、三星、英特爾等大廠進(jìn)行競爭,因此獲得國際硅片龍頭8英寸硅片的充足供應(yīng),可能會受到一定的局限。2012年至今,2...
發(fā)布時間: 2018 - 10 - 17
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在10月11日舉行的廣州2018小蠻腰科技大會上,中國芯片如何破局成為熱點話題之一。厚生利用投資創(chuàng)始合伙人兼總裁欒凌預(yù)測,中國半導(dǎo)體投資未來十年將增至10000億元。而深圳半導(dǎo)體協(xié)會秘書長常軍鋒提醒說,國內(nèi)芯片投資要避免大而全、半途而廢、短期超越三大誤區(qū)。芯片投資將達(dá)萬億欒凌介紹說,半導(dǎo)體芯片短板已成為中國人工智能產(chǎn)業(yè)發(fā)展的挑戰(zhàn)之一。隨著互聯(lián)網(wǎng)、社交媒體、移動設(shè)備的大量普及,以及5G和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,市場對存儲芯片的需求增加,而人工智能芯片技術(shù)的高速迭代又催生出各類AI專用芯片。目前在集成電路領(lǐng)域,美國擁有英特爾、高通、德州儀器、博通、Nvidia、美光等半導(dǎo)體巨頭。2017年公開數(shù)據(jù)顯示,總部設(shè)在美國的半導(dǎo)體公司銷售額占了全球銷售份額的46%。中國代表性的半導(dǎo)體企業(yè),正在奮起追趕。2000年成立的中芯國際,目前14納米制程已接近研發(fā)完成,距離2019年量產(chǎn)的目標(biāo)似乎已經(jīng)不遠(yuǎn),一旦實現(xiàn)目前由海外代工的部分產(chǎn)品將有望回歸國內(nèi)代工。華為海思,2017年以47.15億美元的銷售額成為全球第七大芯片設(shè)計公司,增長率達(dá)到21%;海思的麒麟980芯片是全球首款7納米人工智能手機(jī)芯片,在AI運算能力上領(lǐng)先。在人工智能芯片領(lǐng)域,出現(xiàn)了寒武紀(jì)、深鑒科技、地平線多家芯片公司。如寒武紀(jì)今年6月完成數(shù)億美元B輪融資,投后估值25億美元;阿里巴巴成立平頭哥半導(dǎo)體有限公司,四個主攻方向包括AI芯片、嵌入式芯...
發(fā)布時間: 2018 - 10 - 15
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此時此刻,半導(dǎo)體行業(yè)理所當(dāng)然地關(guān)注著摩爾定律即將發(fā)生的變化,這個著名的技術(shù)預(yù)測奠定了微電子時代驚人進(jìn)步的基礎(chǔ),以及它對硅芯片技術(shù)持續(xù)進(jìn)步和主導(dǎo)地位的潛在影響。這意味著考慮微系統(tǒng)的歷史中的另一個卓有遠(yuǎn)見的觀點是值得的。當(dāng)新生的高級研究計劃局(DARPA)在1959年度過一周年紀(jì)念日時,加州理工學(xué)院的理查德·費曼(Richard Feynman)教授發(fā)表了他最著名、最重要的演講之一,題為“在底部還有很大空間”。同戈登·摩爾一樣,費曼也預(yù)測到了微尺度系統(tǒng)內(nèi)的許多技術(shù)進(jìn)步機(jī)會。然而,費曼的觀點更為寬泛,強(qiáng)調(diào)了在原子尺度上操縱結(jié)構(gòu)的能力所帶來的奇特可能性。DARPA在將包括半導(dǎo)體在內(nèi)的許多“奇異”結(jié)構(gòu)帶入現(xiàn)實生活的過程中發(fā)揮了核心作用,其能力超越了半個世紀(jì)以來硅電子所取得的二進(jìn)制處理能力。費曼的演講在20世紀(jì)80年代激發(fā)了人們對納米技術(shù)的興趣,因為他對納米技術(shù)的推測以及在原子尺度上定制材料的能力正逐步實現(xiàn)。當(dāng)時,新興的晶體生長技術(shù)正在創(chuàng)造一種稱為復(fù)合半導(dǎo)體的材料,在這種材料中,精確的化學(xué)成分或合金可以在原子水平上逐層變化。特別是GaAs及其合金作為新的神奇材料出現(xiàn),使晶體管的性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過硅的極限。DARPA發(fā)現(xiàn)新型GaAs晶體管具有更快速移動電子的潛力,從而可以在電磁頻譜的更高頻率上工作。雖然這項新技術(shù)不會在高度集成的數(shù)字邏輯上取代硅技術(shù),但DARPA預(yù)計其價值將推動下一...
發(fā)布時間: 2018 - 10 - 09
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日本一朝失勢,已不復(fù)當(dāng)日的輝煌(回顧日本芯片逆襲史第二部),時不可失,失不再來,且看他怎么走下去。結(jié)構(gòu)性改革和重啟“官產(chǎn)學(xué)”項目日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)試圖以結(jié)構(gòu)性改革和重啟“官產(chǎn)學(xué)”項目來重振旗鼓。在日本通產(chǎn)省的主導(dǎo)下,1999年,日立和NEC的DRAM部門整合成立了爾必達(dá)(Elpida),三菱電機(jī)隨后也參與進(jìn)來,而其他日本半導(dǎo)體制造商均從通用DRAM領(lǐng)域中退出,將資源集中到具有高附加值的系統(tǒng)集成晶片等領(lǐng)域。Elpida是希臘語“希望”的意思,這個公司名體現(xiàn)了日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對這最后的DRAM制造商所寄予的厚望。無奈,“外面的世界”瞬息萬變。2008年金融危機(jī)后,全球需求驟降,DRAM供應(yīng)嚴(yán)重過剩,2GB的DRAM在2008年的價格為20美元以上,而2012年則跌至1美元以下。全球DRAM生產(chǎn)商都陷入嚴(yán)重赤字,爾必達(dá)也不例外。日本政府在2009年伸出援手,注資并為其擔(dān)保獲得日本政策投資銀行融資。但終究頹勢難挽,爾必達(dá)不堪負(fù)債最終于2012年2月底宣布破產(chǎn),2012年7月被美光并購。一位日本半導(dǎo)體從業(yè)者向21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報道記者表示,自然災(zāi)害對日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展有一定的影響。3·11大地震加速日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭力下滑?!拔覀児驹诘卣鹬幸矒p失慘重,股價一路下跌,直到前兩年重組又建廠才恢復(fù)正常的產(chǎn)量。股價也翻了三番。半導(dǎo)體生產(chǎn)對環(huán)境要求很高,要無塵穩(wěn)定的環(huán)境下才能制作出精良產(chǎn)品?!痹撊毡景?..
發(fā)布時間: 2018 - 09 - 28
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隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展,集成度不斷提高,器件尺寸不斷減小,對硅拋光片的表面質(zhì)量要求越來越嚴(yán)格。清洗是半導(dǎo)體器件制造過程中最重要的步驟。1、硅片的清洗工藝原理硅片經(jīng)過切片、倒角、雙面研磨、拋光等不同的工序加 工后,其表面已受到嚴(yán)重沾污,清洗的目的主要是清除晶片表面的沾污。硅片表面的污染物通常以原子、離子、分子、 粒子或膜的形式以物理吸附或化學(xué)吸附的方式存在于硅片表面。有以下兩種清洗方式:超聲波是通過蒸氣漩渦來輔助沖洗的。振動在液體中形 成極微小的氣泡而這些氣泡快速地崩潰而產(chǎn)生極微小的擦 洗的動作從而除去顆粒。這一現(xiàn)象稱為氣渦。圖1為超聲清洗效果?!?#160;圖1 超聲清洗效果兆聲波的輔助作用是通過另外一種機(jī)理來實現(xiàn)的。依據(jù)流體力學(xué),固體表面與液體之間有一個靜止或緩慢移動的界面,例如晶片的表面。小的顆粒可被保持在這層界面中而不會接觸化學(xué)清洗液。兆聲波的能量可以消除這一界面,從而 使顆粒得以清洗。另外,一種叫做聲流的現(xiàn)象使得水或清洗 液流過晶片的速度加快,從而提高清洗效率。圖2為兆聲清 洗效果?!?#160;圖2 兆聲清洗效果2、超聲清洗技術(shù)超聲清洗屬物理清洗,把清洗液放入槽內(nèi),在槽內(nèi)作用 超聲波。由于超聲波與聲波一樣是一種疏密的振動波,在傳 播過程中,介質(zhì)的壓力作交替變化。在負(fù)壓區(qū)域,液體中產(chǎn) 生撕裂的力,并形成真空的氣泡。當(dāng)聲壓達(dá)到一定值時,氣 泡迅速增長,在正壓區(qū)域氣泡由于受到壓...
發(fā)布時間: 2018 - 09 - 27
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硅片清洗的重要性想必大家是很清楚的,而清洗后硅片表面的各種性能在一定程度上又由清洗設(shè)備本身決定,因此,對硅片清洗設(shè)備的日常維護(hù)就尤為重要。目前,在半導(dǎo)體的生產(chǎn)中廣泛使用的為濕式化學(xué)清洗方法,在該清洗方法中有大量的化學(xué)試劑被使用,具體使用的化學(xué)試劑及其主要作用見表1。▼表1常用的化學(xué)清洗溶液另外,在半導(dǎo)體材料及器件生產(chǎn)廠家,槽式清洗設(shè)備被廣泛使用,由于該類清洗設(shè)備清洗工位較多,任何一個環(huán)節(jié)的疏忽,都會導(dǎo)致最終清洗后硅片表面質(zhì)量不合格,且主要表現(xiàn)為硅片表面顆粒超標(biāo)和硅片表面金屬沾污超標(biāo)。硅片表面質(zhì)量的重要參數(shù)是顆粒數(shù)跟金屬沾污,去除顆粒跟金屬沾污也是硅片清洗最主要的目的,所以需對清洗設(shè)備對顆粒跟金屬沾污的去除能力進(jìn)行監(jiān)控。如發(fā)現(xiàn)硅片表面顆粒跟金屬沾污超標(biāo),則需進(jìn)行如下處理:1、將各槽中原液排干,用DI水將槽子沖洗一次,然后將槽中水排盡;2、加入少許(lgallon)DI水,然后加入lgal- lonH2O2,再加入少許DI水,然后加工入lgallonNH4OH,再加DI水至槽滿。如果是工藝槽,則讓混合液循環(huán)2h,否則靜置2h;3、將槽中液排盡,用DI水再次沖洗槽子一次,將槽液排盡;4、重新對清洗設(shè)備進(jìn)行測試。具體的操作流程如下:由于對清洗設(shè)備的工藝維護(hù)在實際的生產(chǎn)中起著舉足輕重的作用,故需特別注意。如果發(fā)現(xiàn)問題需及時進(jìn)行解決,直至檢測合格為止。也可以咨詢本公司進(jìn)行專業(yè)服務(wù)。延展閱讀★華...
發(fā)布時間: 2018 - 09 - 25
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日本半導(dǎo)體在1970-1985年的15年間到達(dá)了“黃金時代”,但物極必反、盛極而衰的事物發(fā)展規(guī)律是永恒不變的,且看日本怎么應(yīng)對。由盛而衰背后是未能抓住規(guī)模化機(jī)會1980年代后期,日本的DRAM市場份額開始大幅衰退,根本原因是DRAM市場結(jié)構(gòu)發(fā)生巨變,頻繁發(fā)生的貿(mào)易摩擦也一定程度上阻礙了行業(yè)發(fā)展。日本企業(yè)在早期大型計算機(jī)所用的存儲器上有技術(shù)優(yōu)勢,看重的是存儲器的品質(zhì)。但1980年代后期,隨著個人電腦市場蓬勃發(fā)展,對存儲器的可靠性和壽命要求較低,更側(cè)重于低價。但日本當(dāng)時依舊以高可靠性為生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn),未能很好地適應(yīng)市場變化。有業(yè)內(nèi)人士指出,盡管當(dāng)時日本公司看到了個人電腦市場的動向,但仍執(zhí)著于成品率,在降低成本方面比較欠缺。對比日韓的半導(dǎo)體公司會發(fā)現(xiàn),韓國公司在成本上大幅領(lǐng)先于日本公司,生產(chǎn)同樣的元器件,日本公司使用的設(shè)備數(shù)量竟是韓國的2倍,生產(chǎn)流程過長,進(jìn)而無法降低成本。另有分析指出,這也和日本制造商沒有采取Fabless模式有關(guān)。這種水平分工的發(fā)展模式可以使專業(yè)公司專注設(shè)計,代工廠專注生產(chǎn),可以對市場變化做出迅速反應(yīng),將機(jī)器折舊影響到的成本劣勢降到很低。▲ Fabless模式“日本的半導(dǎo)體制造大多仍是大集團(tuán)下的子部門,盡管個別產(chǎn)品有不錯的成績,但在品牌占有率達(dá)到一定程度后,該模式無法再有效推升其半導(dǎo)體的零組件往下一個里程碑前進(jìn)。Fabless模式是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在規(guī)模經(jīng)濟(jì)發(fā)展下的必然走向。而以...
發(fā)布時間: 2018 - 09 - 18
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9月21日,在火熱進(jìn)行的2018杭州云棲大會上,天貓、阿里云IoT攜手包括中移物聯(lián)網(wǎng)有限公司、Cypress、瑞薩、意法半導(dǎo)體、兆易創(chuàng)新、博通集成、移遠(yuǎn)通信、新唐科技等眾多國內(nèi)外知名半導(dǎo)體公司宣布2018天貓芯片節(jié)盛大開幕,同期在天貓線上首發(fā)18款芯片模組。▼▼▼▼▼18款芯片將全部接入阿里云IoT的AliOS Things物聯(lián)網(wǎng)操作系統(tǒng)及Link IoT Edge邊緣計算。同時,阿里云IoT已經(jīng)攜手包括Intel、Semtech多家生態(tài)巨頭共同拓展近場、廣域、邊緣計算等多個應(yīng)用領(lǐng)域的市場,力爭在最短時間內(nèi)打通從端到云的物聯(lián)網(wǎng)場景,實現(xiàn)無處不在的連接。從公布的芯片節(jié)合作的廠商來看,包括了國內(nèi)外半導(dǎo)體廠商以及模組廠商,而這些廠商主要聚焦在MCU、無線通信芯片、模組產(chǎn)品。正是阿里布局物聯(lián)網(wǎng)生態(tài)的重要參與者。據(jù)國際電子商情記者了解,這些廠商的天貓旗艦店的運營主要有兩種方式,一種是原廠組建自有團(tuán)隊,另一種是由代理商或者元器件電商運營。今天早些時候,賽普拉斯半導(dǎo)體公司宣布,在阿里巴巴集團(tuán)旗下的天貓商城開設(shè)在線商店。賽普拉斯是首批入駐天貓商城的電子元器件供應(yīng)商之一。而該公司天貓商城交由易庫易獨家運營。相關(guān)報道可見:CYPRESS官宣,正式入駐天貓商城,獨家運營方揭曉!“我們希望能夠?qū)⑻熵埓蛟斐蔀殚_發(fā)者的一站式芯片購買渠道?!背鱿舜翁熵埿酒?jié)啟動儀式的天貓3C數(shù)碼資深總監(jiān)何春雷表示。相比于傳統(tǒng)...
發(fā)布時間: 2018 - 09 - 22
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上一期給大家講解了濕法刻蝕與清洗的基本藥液,那濕法刻蝕清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)和工作原理是什么?今天就帶大家瞧一瞧。1、刻蝕清洗設(shè)備分類濕法刻蝕清洗機(jī)按清洗的結(jié)構(gòu)方式可以分為槽式批量清洗和單片清洗機(jī)兩種類型。而槽式清洗又可分為半自動清洗和全自動清洗兩種機(jī)臺。2、 清洗設(shè)備結(jié)構(gòu)組成清洗設(shè)備主要由耐腐蝕機(jī)架、 酸槽、 水槽、 干燥槽、 控制單元、 排風(fēng)單元以及氣體和液體管路單元等幾大部分構(gòu)成。其中酸槽和管路單元是清洗設(shè)備的主要組成部分。 按照材料的差異, 槽體可分為用不銹鋼材質(zhì)的生產(chǎn)的槽、 用NPP 材質(zhì)生產(chǎn)的抗腐蝕的槽、 用PVDF材質(zhì)生產(chǎn)的槽、 用PTFE材質(zhì)生產(chǎn)的槽、 用石英材質(zhì)生產(chǎn)的槽等, 按照功能的差異槽體又可分為酸堿刻蝕槽、 溢流清洗槽、 快速排水槽和使晶圓快速干燥的干燥槽等, 根據(jù)清洗工藝要求的不同, 還可以增加腐蝕液的超聲及兆聲清洗、 腐蝕液加熱或制冷、攪拌、 循環(huán)及去離子水加熱等清洗功能?!鴿穹涛g清洗機(jī)的組成部分在材料選擇上, 不銹鋼槽主要用于有機(jī)溶液或堿性溶液; 而石英加熱槽主要用于酸性溶液, 而且該槽耐高溫, 一般為二百攝氏度, 最高可以達(dá)到四百攝氏度;高純度聚丙烯槽主要用于溫度小于八十?dāng)z氏度的酸堿溶液;聚氟乙烯槽常常用來承裝 BOE 以及氫氟酸, 要求溫度最高不能高于一百二十?dāng)z氏度。 聚四氟乙烯槽可用于幾乎所有的酸堿以及有機(jī)溶液,其耐溫小于150攝氏度。在功能選擇上, Q...
發(fā)布時間: 2018 - 09 - 13
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