目前在半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中，普遍采用RCA清洗技術(shù)清洗拋光硅片，今天我們介紹一種溶浸式濕法化學(xué)清洗，串聯(lián)的SC1和兆聲去除顆粒，含O3的去離子水工藝形成均勻硅氧化膜，最后用IPA干燥。IPA干燥是利用IPA的低表面張力和易揮發(fā)的特性，取代硅片表面的具有較高表面張力的水分，然后用熱N2吹干，達(dá)到徹底干燥硅片水膜的目的。此種干燥工藝比傳統(tǒng)的離心式甩干法、真空干燥法、單純熱N2干燥法在降低金屬和顆粒站務(wù)的引入及干燥速度方面有較大的有事。但此工藝在有片盒干燥的過(guò)程中易產(chǎn)生邊緣目檢缺陷的缺點(diǎn)。針對(duì)這點(diǎn)，我們?cè)谏a(chǎn)中總結(jié)了一下經(jīng)驗(yàn)，并通過(guò)控制將此缺陷降到可控范圍內(nèi)。1、硅片進(jìn)入IPA干燥腔后，通過(guò)片盒支架的特殊設(shè)計(jì)，使拋光面自動(dòng)與片盒脫離接觸。這樣IPA蒸氣可充分分布到拋光面表面，有利于均勻的干燥。2、PFA片盒作為硅片的載體，由于材料微觀多孔的特性，經(jīng)過(guò)反復(fù)烘干，孔被放大，加上長(zhǎng)時(shí)間的化學(xué)溶浸，少量化學(xué)物質(zhì)吸附在PFA的孔內(nèi)，烘干后易在硅片上行程邊緣缺陷，因此定期處理PFA片盒是很必要的。作為濕制程設(shè)備專(zhuān)業(yè)制造商，華林科納（江蘇）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司對(duì)IPA干燥系統(tǒng)有豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)和產(chǎn)線使用驗(yàn)證，為硅片的清洗、干燥提供有效的保障。 更多清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注華林科納（江蘇）半導(dǎo)體官網(wǎng)，關(guān)注http://126xa.cn ,18913575037
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在半導(dǎo)體行業(yè)中，用于硅晶圓片和碳化硅晶圓片批量生產(chǎn)的外延爐的內(nèi)腔因?yàn)槟透邷?、透光、無(wú)物質(zhì)沾污的需求，基本使用高純度石英材料制作，除了石英鐘罩作為密閉腔體內(nèi)用途外，為了保證晶體表面生長(zhǎng)的氣流均勻性和溫度一致性，另外還會(huì)在腔體內(nèi)放置各種形狀的石英件。石英件的表面在一定次數(shù)的外延過(guò)程后，表面會(huì)沉積多種殘留物質(zhì)。這些殘留物質(zhì)在設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)過(guò)程中定期清洗，否則會(huì)嚴(yán)重影響硅晶圓片和碳化硅晶圓片的外延層生長(zhǎng)質(zhì)量。華林科納是國(guó)內(nèi)最早致力于濕法設(shè)備的研制單位，多年來(lái)與眾多的半導(dǎo)體企業(yè)密切合作，研制開(kāi)發(fā)適合的半導(dǎo)體清洗機(jī)設(shè)備。關(guān)于鐘罩清洗機(jī)，其中又有臥式或立式的分別。下圖是一個(gè)臥式的鐘罩清洗機(jī)。它的優(yōu)點(diǎn)是：1.成熟專(zhuān)業(yè)的電氣設(shè)計(jì)，友好的人機(jī)交互界面，提供更好地操作體驗(yàn)；2.極高的生產(chǎn)效率；3.結(jié)合最先進(jìn)工藝技術(shù)，主體材質(zhì)的整潔可靠，槽體的個(gè)性化定制，輔助功能齊全；4.最佳的占地面積，節(jié)省空間；5.優(yōu)越的可靠性；6.獨(dú)特的模塊化結(jié)構(gòu)；7.極其便于后期維修。它的特征是：1.可編制程序使得清洗管旋轉(zhuǎn)，清洗更均勻，更全面；2.配備的PVDF工藝槽，可耐一定濃度的酸堿；3.裝有清洗溶劑的儲(chǔ)備槽（根據(jù)使用化學(xué)品的數(shù)量）放置在工藝槽的后下方—直接注入且內(nèi)部進(jìn)行不斷循環(huán)，使得清洗更徹底；4.特別的噴淋嘴更益于石英管清洗；5.集成水槍和N2槍?zhuān)垣@得更好的清洗效果，6.單獨(dú)排液系統(tǒng)，將廢棄的藥液統(tǒng)一排放到固定的容器內(nèi)，...
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在光學(xué)冷加工中，超聲波清洗是如何實(shí)現(xiàn)洗凈目的的呢？一般來(lái)說(shuō)，清洗工藝主要以干燥的方式命名，如 IPA 工藝，是指利用 IPA（異丙醇）蒸汽進(jìn)行脫水干燥的清洗工藝，純水工藝是指利用熱純水慢提拉或冷純水甩干的方式進(jìn)行干燥的清洗工藝。當(dāng)然，還有其他的命名方式。經(jīng)過(guò)不斷的變化、發(fā)展，光學(xué)冷加工中的清洗工藝主要以 IPA 工藝和純水工藝為主?！ PA干燥 IPA 工藝包括四個(gè)流程：洗滌、漂洗、脫水、干燥?！ ∫?yàn)橄礈爝^(guò)程分溶劑清洗和水基清洗，所以有不同的工藝：有先進(jìn)行溶劑清洗、溶劑蒸汽干燥再進(jìn)行水基清洗；也有先進(jìn)行溶劑清洗，再用乳化劑溶解溶劑，再進(jìn)行水基清洗的。顯然，后者在流程上更流暢、緊湊，對(duì)設(shè)備要求也簡(jiǎn)單。經(jīng)過(guò)洗滌后的鏡片表面不會(huì)有結(jié)合牢固的污垢，僅可能有一些清洗劑和松散污垢的混合物?！ ∥覀冎溃瑹o(wú)機(jī)光學(xué)玻璃是一種過(guò)冷的熔融態(tài)物質(zhì)，沒(méi)有固定的分子結(jié)構(gòu)，它的結(jié)構(gòu)式可描述為二氧化硅和某些金屬氧化物形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。其骨架結(jié)構(gòu)為鍵能很大的硅氧共價(jià)鍵，外圍是鍵能小、易斷裂的氧與金屬離子形成的離子鍵。在洗滌時(shí)，由于超聲場(chǎng)和化學(xué)洗劑的共同作用，某些硅氧鍵含量少或者外圍鍵能特別小的的材料易于在清洗過(guò)程中發(fā)生變化而導(dǎo)致洗滌效果不良。所以，選擇性能溫和的洗劑、合適的洗劑濃度、溫度、超聲功率、洗滌時(shí)間對(duì)保證鏡片的清洗質(zhì)量十分重要?！ ±昧魉畬⑾礈旌箸R片表面的洗劑和污物溶解、排除的過(guò)程稱(chēng)為漂...
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隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展，化學(xué)包裝桶的用量 和清洗回用量一直處于增長(zhǎng)狀態(tài)，華林科納（江蘇）從管理角度我國(guó) 包裝桶的清洗和再生基本劃入危廢處理范疇早， 由于包裝桶收集、清洗、利用過(guò)程涉及化學(xué)物質(zhì)眾 多，這些化學(xué)物質(zhì)具有腐蝕性、毒性、易燃性、反 應(yīng)性，廠區(qū)安全生產(chǎn)和環(huán)境污條防治晃為重要嘰 目前，除個(gè)別包裝桶清洗企業(yè)外，大部分包裝 桶清洗再生企業(yè)均存在安全隱患和環(huán)境污染問(wèn)題, 大量不規(guī)范的企業(yè)及個(gè)人收集、清洗、出售包裝 桶，造成含各種化學(xué)品的廢水被隨意排'放，一些容質(zhì)量控制及安全生產(chǎn)等眾多技術(shù)要求和規(guī) 范，從包裝桶識(shí)別、收集、分類(lèi)存放、余料收集、 分別清洗、廢物處理處置，再生加工冬過(guò)程開(kāi)展蔔 裝桶清潔星產(chǎn)和污染防治，實(shí)現(xiàn)包裝桶清洗行業(yè)的 源頭減排、再利用、資源化和無(wú)害化化學(xué)包裝桶清洗行業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)狀和問(wèn)題.我國(guó)化學(xué)包裝桶收集、清洗和再生利用行業(yè)包 含4類(lèi)企業(yè)，一類(lèi)是原料和產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)，產(chǎn)品相 對(duì)單一，使用包裝桶量大，回收自用同類(lèi)包裝桶, 這些企業(yè)一般有較完善處理處置設(shè)施；其次是具有 危廢收集處理資質(zhì)的大、中型綜合包裝桶清洗、再 生企業(yè)，具有較完善的處理處置設(shè)施，但由于包裝 桶涉及化學(xué)物質(zhì)復(fù)雜，或多或少的存在環(huán)境問(wèn)題; 第三是非法收集和清洗企業(yè)，有一定規(guī)模，具有流 動(dòng)性，隱蔽性強(qiáng)的特點(diǎn)，但部分也相對(duì)固定，沒(méi)有 水處理設(shè)施或僅有簡(jiǎn)陋的水池，一般要實(shí)施有價(jià)余 料收集；此外，非法個(gè)人收集和非法...
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近年來(lái)衍射光柵技術(shù)、全息術(shù)、傅里葉光學(xué)和計(jì)算全息等技術(shù)推動(dòng)了衍射光學(xué)理論的發(fā)展，特別是在衍射光學(xué)器件方面的研究已經(jīng)達(dá)到了實(shí)用化的水平。衍射光學(xué)器件的特點(diǎn)DOE的特點(diǎn)則是具有高衍射效率、獨(dú)特的色散性能、更多的設(shè)計(jì)自由度、寬廣的材料可選性，并具有特殊的光學(xué)性能，因此DOE成為實(shí)現(xiàn)離軸照明的理想元件。一般用于光刻系統(tǒng)離軸照明的DOE，其子單元個(gè)數(shù)需衍射的概念光沿著直線傳播，當(dāng)光穿過(guò)一個(gè)小孔或經(jīng)過(guò)一個(gè)輪廓分明的邊緣時(shí)，沿小孔邊緣產(chǎn)生了干涉圖形，結(jié)果得到了一個(gè)模糊的圖像，而不是希望出現(xiàn)在光和陰影之間的清晰邊緣，光看上去沿狹縫邊緣彎曲了。這種現(xiàn)象被稱(chēng)做衍射。衍射光學(xué)器件的主要應(yīng)用1.光束整形（1）平頂光束整形“ Top-Hat ”或“ Flat-Top ”光束整形是衍射光學(xué)器件（DOE），用于將近高斯入射激光束轉(zhuǎn)換為圓形，矩形，正方形，線形或均勻強(qiáng)度（平坦）點(diǎn)或在特定工作平面中具有鋒利邊緣的其他形狀。頂帽（平頂）光束整形器的典型應(yīng)用包括：激光燒蝕，激光焊接，激光穿孔，激光劃線，醫(yī)療和美學(xué)激光應(yīng)用。（2）光束擴(kuò)散器/光束勻質(zhì)器英文名為BeamHomogenizer / Optical Diffuser，使用勻化鏡能把單模或多模的準(zhǔn)直輸入光束，轉(zhuǎn)換為能量分布高度均勻的光斑。光斑的波長(zhǎng)和形狀輪廓都可自定義，形狀一般為圓形、正方形、直線、長(zhǎng)方形、六邊形、橢圓形等任意形狀。光束均化鏡在許多需要明確定義光...
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![不懼疫情沖擊，廈門(mén)聯(lián)芯增資提產(chǎn)逆勢(shì)而上]( "不懼疫情沖擊，廈門(mén)聯(lián)芯增資提產(chǎn)逆勢(shì)而上")
新冠病毒的來(lái)臨，讓全社會(huì)嚴(yán)陣以待。全球不斷攀升的確診人數(shù)對(duì)半導(dǎo)體市場(chǎng)和供應(yīng)鏈都造成了一定壓力。然而壓力面前，具有前瞻性的企業(yè)卻不懼疫情影響，逆勢(shì)而上，增資提產(chǎn)，為今后長(zhǎng)期的發(fā)展提前做好準(zhǔn)備。這些消息釋放出來(lái)也極大地提振了全行業(yè)的士氣。形勢(shì)嚴(yán)峻新冠病毒向行業(yè)施壓2019年，全球半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入下行周期，智能手機(jī)、PC、筆記本電腦等需求放緩導(dǎo)致了半導(dǎo)體市場(chǎng)的下滑。專(zhuān)家原本預(yù)測(cè)2020年半導(dǎo)體或?qū)⒅鼗厣仙壍溃?G的部署與AI的需求將成為推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)復(fù)蘇的強(qiáng)勁動(dòng)力。然而，新型冠狀病毒肺炎疫情的突然發(fā)生，為半導(dǎo)體行業(yè)回暖帶來(lái)不確定性。集邦咨詢(xún)認(rèn)為，疫情擴(kuò)大使得未來(lái)終端需求能見(jiàn)度降低，尤以專(zhuān)注于智能手機(jī)與消費(fèi)性電子領(lǐng)域的IC設(shè)計(jì)業(yè)，2020年第二季度營(yíng)收可能受到較大影響。集邦咨詢(xún)修改了2020年第一季度智能手機(jī)生產(chǎn)總數(shù)的預(yù)估，下調(diào)至2.75億只，較去年同期衰退約12%，為近5年來(lái)新低。疫情帶來(lái)壓力的同時(shí)，也推動(dòng)人們對(duì)網(wǎng)絡(luò)通信給予更多的依賴(lài)與重視。市場(chǎng)重新評(píng)估數(shù)據(jù)中心、人工智能的價(jià)值。一大批人工智能、5G芯片企業(yè)產(chǎn)品加速落地。研究機(jī)構(gòu)預(yù)計(jì)，2020年我國(guó)人工智能市場(chǎng)將再續(xù)輝煌，市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到42.5億美元，預(yù)計(jì)年增長(zhǎng)率約為51.5%。而在5G通信方面，華為中國(guó)運(yùn)營(yíng)商業(yè)務(wù)部副總裁楊濤預(yù)測(cè)，到2023年，與5G相關(guān)的半導(dǎo)體收入將達(dá)到208億美元以上。雖然疫情的爆發(fā)帶給半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)些許沖擊，然5G與A...
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根據(jù)研究數(shù)據(jù)顯示，在大規(guī)模量產(chǎn)方面，首屈一指的當(dāng)然是日本三洋，現(xiàn)有產(chǎn)能1GW，量產(chǎn)效率達(dá)23%。除此之外，具有較成熟HIT技術(shù)的還有Keneka、Sunpreme、Solarcity、福建均石、晉能、新奧、漢能等企業(yè)。 圖表：國(guó)內(nèi)外HIT太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)化情況（單位：%，MW） 目前HIT產(chǎn)品的量產(chǎn)難點(diǎn)主要包括以下幾方面： （1）高質(zhì)量硅片：相較常規(guī)N型產(chǎn)品，HIT電池對(duì)硅片質(zhì)量有更高的要求，需要謹(jǐn)慎選擇硅片供應(yīng)商。 （2）制絨后硅片表面潔凈度的控制：HIT電池對(duì)硅片表面潔凈度要求非常高，需要平衡硅片清洗潔凈程度和相關(guān)化學(xué)品以及水的消耗。 （3）各工序Q-time控制：HIT電池在完成非晶硅鍍膜之前，對(duì)硅片暴露在空氣中的時(shí)間以及環(huán)境要求比較嚴(yán)苛，需要注意各工序Q-time的控制。 （4）生產(chǎn)連續(xù)性對(duì)于TCO鍍膜設(shè)備的影響：TCO鍍膜必須保證連續(xù)投料，否則良率和設(shè)備狀況都會(huì)受到影響，尤其在產(chǎn)線剛投產(chǎn)時(shí)，保持生產(chǎn)連續(xù)性是一大挑戰(zhàn)。 （5）高粘度漿料的連續(xù)印刷穩(wěn)定性：在HIT電池制備過(guò)程中，漿料粘度大導(dǎo)致的虛印斷柵現(xiàn)象較多，需要數(shù)倍于常規(guī)產(chǎn)線的關(guān)注。 （6）焊帶拉力的穩(wěn)定性：拉力穩(wěn)定的窗口窄，雙玻雙面發(fā)電的組件結(jié)構(gòu)進(jìn)...
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一、無(wú)源晶振與有源晶振的對(duì)比1. 無(wú)源晶振是有2個(gè)引腳的無(wú)極性元件，需要借助于時(shí)鐘電路才能產(chǎn)生振蕩信號(hào)，自身無(wú)法振蕩起來(lái)，無(wú)源晶振需要用DSP片內(nèi)的振蕩器，在datasheet上有建議的連接方法。無(wú)源晶振沒(méi)有電壓的問(wèn)題，信號(hào)電平是可變的，也就是說(shuō)是根據(jù)起振電路來(lái)決定的，同樣的晶振可以適用于多種電壓，可用于多種不同時(shí)鐘信號(hào)電壓要求的DSP，而且價(jià)格通常也較低，因此對(duì)于一般的應(yīng)用如果條件許可建議用晶體，這尤其適合于產(chǎn)品線豐富批量大的生產(chǎn)者。2. 有源晶振有4只引腳，是一個(gè)完整的振蕩器，里面除了石英晶體外，還有晶體管和阻容元件 。有源晶振不需要DSP的內(nèi)部振蕩器，信號(hào)質(zhì)量好，比較穩(wěn)定，而且連接方式相對(duì)簡(jiǎn)單（主要是做好電源濾波，通常使用一個(gè)電容和電感構(gòu)成的PI型濾波網(wǎng)絡(luò)，輸出端用一個(gè)小阻值的電阻過(guò)濾信號(hào)即可），不需要復(fù)雜的配置電路。有源晶振相比于無(wú)源晶體通常體積較大，但現(xiàn)在許多有源晶振是表貼的，體積和晶體相當(dāng)，有的甚至比許多晶體還要小。二、無(wú)源晶振與有源晶振的優(yōu)缺點(diǎn)無(wú)源晶振相對(duì)于晶振而言其缺陷是信號(hào)質(zhì)量較差，通常需要精確匹配外圍電路（用于信號(hào)匹配的電容、電感、電阻等），更換不同頻率的晶體時(shí)周邊配置電路需要做相應(yīng)的調(diào)整。使用時(shí)建議采用精度較高的石英晶體，盡可能不要采用精度低的陶瓷晶體。相對(duì)于無(wú)源晶體，有源晶振的缺陷是其信號(hào)電平是固定的，需要選擇好合適輸出電平，靈活性較差，...
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簡(jiǎn)單介紹一下晶振?！笆⒕д瘛本褪怯檬⒉牧献龀傻氖⒕д裰C振器產(chǎn)生頻率的作用，具有穩(wěn)定，抗干擾性能良好，廣泛應(yīng)用于各種電子產(chǎn)品中。石英晶振是晶振中的一種，晶振的正確分類(lèi)方法是石英晶振和陶瓷晶振，顯而易見(jiàn)石英和陶瓷就是對(duì)晶振材質(zhì)的區(qū)分。石英晶振 是一種用于穩(wěn)定頻率和選擇頻率的電子元件，已被廣泛地使用在無(wú)線電話、載波通訊、廣播電視、衛(wèi)星通訊、數(shù)字儀表、鐘表等各種電子設(shè)備中。晶體諧振器和晶體振蕩器的區(qū)別石英晶體諧振器是一種無(wú)源晶體，石英晶體振蕩器角度來(lái)說(shuō)就是有源晶振。而無(wú)源晶體和有源晶振的區(qū)別就在于，前者無(wú)電壓范圍，后者有電壓；再一個(gè)區(qū)別就在于后者的價(jià)格往往要高于前者價(jià)格的幾倍。兩個(gè)名次術(shù)語(yǔ)如同雙胞胎，僅一字之差。而正是這一字之差使得兩者的屬性參數(shù)在電路板中都有著決然不同的角色。如何正確區(qū)分石英晶體諧振器和石英晶體振蕩器簡(jiǎn)而言之即是晶體諧振器和晶體振蕩器的差別在哪里，我們先不看它的材質(zhì)。共同點(diǎn)：1、晶體諧振器和晶體振蕩器都有貼片封裝和插件封裝。2、晶體諧振器和晶體振蕩器使用范圍都一致。通信，無(wú)線，GPS隨處可見(jiàn)他們的身影。不同點(diǎn)：1、晶體振蕩器價(jià)格往往要比晶體諧振器價(jià)格高。2、晶體振蕩器參數(shù)有電壓?jiǎn)挝唬w諧振器參數(shù)不會(huì)有電壓?jiǎn)挝弧?、晶體振蕩器腳位均是4腳以上包括4腳，晶體諧振器通常是2腳或者4腳，不會(huì)存在4腳以上的晶體諧振器。4、晶體振蕩器的高度往往要高于晶體諧振器。5、...
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![【材料/設(shè)備】降低日本依賴(lài)！韓國(guó)SKC有望下半量產(chǎn)半導(dǎo)體關(guān)鍵材料]( "【材料/設(shè)備】降低日本依賴(lài)！韓國(guó)SKC有望下半量產(chǎn)半導(dǎo)體關(guān)鍵材料")
據(jù)中國(guó)臺(tái)灣媒體報(bào)道，韓國(guó)產(chǎn)業(yè)通商資源部昨（20）日宣布，韓國(guó)化學(xué)大廠SKC目前正對(duì)用于半導(dǎo)體制程的光罩基板(Mask Blank)的試作樣品展開(kāi)測(cè)試，預(yù)計(jì)2020年下半年正式展開(kāi)量產(chǎn)。據(jù)報(bào)導(dǎo)，韓國(guó)的半導(dǎo)體制造中，其光罩基板約90%依賴(lài)日本供應(yīng)，同時(shí)光罩基板也是韓國(guó)大量進(jìn)口自日本的20種高科技材料之一，韓國(guó)政府希望在20種主要材料、零件、設(shè)備，能脫離對(duì)日貨的倚賴(lài)，而光罩基板就名列其中。資料顯示，SKC與SK海力士同屬于SK集團(tuán)旗下，自1976年成立以來(lái)，在韓國(guó)最早開(kāi)發(fā)及生產(chǎn)了不計(jì)其數(shù)的薄膜、化學(xué)、材料領(lǐng)域的產(chǎn)品，其核心部門(mén)為薄膜和化學(xué)部門(mén)。自2018年開(kāi)始，SKC已投入430億韓元(約3500萬(wàn)美元)用于建設(shè)光罩基板廠，并于2019年建成，SKC不僅計(jì)劃在2020年內(nèi)開(kāi)始光罩基板的量產(chǎn)，同時(shí)也計(jì)劃在2021年量產(chǎn)更高端的產(chǎn)品。2019年7月，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省宣布，將對(duì)用于智能手機(jī)及電視機(jī)的半導(dǎo)體等制造過(guò)程中需要的三種材料加強(qiáng)對(duì)韓國(guó)的出口管制，這三種材料分別為用于半導(dǎo)體清洗的氟化氫、用于智能手機(jī)顯示屏等的氟化聚酰亞胺，以及涂覆在半導(dǎo)體基板上的感光劑“光刻膠”。對(duì)此，韓國(guó)也出臺(tái)了相關(guān)措施以應(yīng)對(duì)日本針對(duì)韓國(guó)的出口管制措施。如提出了100大核心戰(zhàn)略產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化計(jì)劃，將投入7.8萬(wàn)億韓元的研發(fā)費(fèi)用，在1至5年內(nèi)實(shí)現(xiàn)核心戰(zhàn)略產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化，而韓國(guó)企業(yè)也在加速在該領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化。2019年，外媒曾報(bào)道，SK...
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2020
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