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發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領域,濕法設備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術的不斷發(fā)展,濕法設備已經成為LED外延及芯片制造領域的關鍵設備,如SPM酸清洗、有機清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。南通華林科納CSE深入研究LED生產工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標準成套設備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機設備 設備名稱南通華林科納CSE-外延片清洗機設備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應用領域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進封裝等專有技術系統(tǒng)潔凈性技術均勻性技術晶圓片N2干燥技術模塊化系統(tǒng)集成技術自動傳輸及精確控制技術溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術主要技術特點系統(tǒng)結構緊湊、安全腔體獨立密封,具有多種功能可實現(xiàn)晶圓干進干出采用工控機控制,功能強大,操作簡便可根據(jù)用戶要求提供個性化解決方案設備制造商南通華林科納半導體設備有限公司 126xa.cn 400-8768-096 ;18913575037更多的外延片清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(126xa.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導體行業(yè)相關清洗設備解決方案。
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
旋轉式噴鍍臺結合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應用要求等特點,在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉噴鍍技術傾斜式旋轉噴鍍單元分由兩個部分組成,一為陰極夾具、旋轉單元、導線電刷、N2 保護單元組成的陰極回轉體,二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉噴鍍結構示意圖如下:從鍍制結構方式、鍍制工藝應用分析可以看出,采用傾斜式旋轉噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結構方式易實現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉運動使槽內電場不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進行鍍液噴射,實現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結構方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產需求。傾斜旋轉噴鍍技術、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結構本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結構,鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進行相關模擬、仿真和驗證,鍍液入口采用扇形噴咀式結構,可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結構的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 南通華林科納CSE采用傾斜旋轉噴鍍方法進行晶圓電鍍工藝處理,由于結構上的特點,該方法經實驗驗證具有:①結構簡單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產并在工藝線上得到較好的應用,產品已通過技術定型鑒定和用戶驗收。實現(xiàn)的主要工藝指標:最大晶...
發(fā)布時間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機1. 應用范圍:l 本機臺適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設備為垂直式雙槽體機臺,可同Run 50~100片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統(tǒng)設計, 高穩(wěn)定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機臺內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機-華林科納CSE南通華林科納半導體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長:單片式清洗裝置的優(yōu)點(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對應)例:附著粒子數(shù)…10個/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設備相關信息可以關注華林科納CSE官網(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)(CDS)-南通華林科納CSEChemical Dispense System System 南通華林科納半導體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J?、自動控制模式設備名稱南通華林科納CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N1507設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內:酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內部管路及組件采PFA 451 HP 材質;4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在自動模式情形...
發(fā)布時間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機-華林科納CSESingle wafer cleaner system南通華林科納CSE-自動單片式腐蝕清洗機應用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2"-12";可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應用領域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進封裝等  設 備 名 稱CSE-單片清洗機類  型單片式適 用 領 域半導體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短(相較于槽式清洗機)2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結構,占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關設備可以關注南通華林科納半導體官網,關注http://126xa.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-南通華林科納CSEChemical Dispense System System 南通華林科納半導體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J?、自動控制模式 設備名稱南通華林科納CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N2601設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內:酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內部管路及組件采PFA 451 HP 材質;4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在...
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探討安防監(jiān)控和芯片行業(yè)近年來發(fā)展情況

時間: 2018-09-04
點擊次數(shù): 19

關于政協(xié)十三屆全國委員會第一次會議第3208號(財稅金融類287號)提案答復的函


《關于支持具有自主知識產權的信息安全和公共安全領域的企業(yè)利用資本市場進行發(fā)展的提案》收悉。經認真研究并商公安部、工業(yè)和信息化部,現(xiàn)答復如下:


一、安防監(jiān)控和芯片行業(yè)近年來發(fā)展相關情況


安防監(jiān)控和芯片產業(yè)是關系到國家安全和公共安全的核心產業(yè)。隨著自主創(chuàng)新國家戰(zhàn)略的推進,國家相關部門積極協(xié)作,堅決貫徹落實黨中央和國務院的戰(zhàn)略部署,高度重視具有自主知識產權、符合條件的信息安全和公共安全領域的企業(yè)的發(fā)展,在產業(yè)發(fā)展和金融扶持方面給予大力支持,我國安防監(jiān)控及芯片產業(yè)近年發(fā)展較為明顯。


探討安防監(jiān)控和芯片行業(yè)近年來發(fā)展情況


(一)大力推進我國公共安全視頻監(jiān)控系統(tǒng)建設


公共安全視頻監(jiān)控建設聯(lián)網應用,是新形勢下維護國家安全和社會穩(wěn)定、預防和打擊暴力恐怖犯罪的重要手段,對于提升城鄉(xiāng)管理水平和社會治理能力現(xiàn)代化具有重要意義。近年來,我國大力推進公共安全視頻監(jiān)控系統(tǒng)建設。目前政府各部門建設的攝像機超過3000多萬臺,形成了世界上最大的一張圖像傳感網。在推進我國公共安全視頻監(jiān)控工作的過程中,最成功的一條經驗就是依據(jù)具有國內自主知識產權的標準。我國自主知識產權的《公共安全視頻監(jiān)控數(shù)字視音頻編解碼技術要求》(GB/T25724,簡稱SVAC標準),在公共安全視頻監(jiān)控建設聯(lián)網應用中處于重要地位,能夠全面支持國密算法、加強圖像智能化、提升壓縮效能和編碼效率、支撐大數(shù)據(jù)等應用方面的功能。工信部、國標委、公安部等部門積極協(xié)作,積極推動SVAC標準產業(yè)化、配套標準制定以及SVAC標準在相關行業(yè)的推動應用,支持廣東省開展SVAC國家標準先行示范。目前,我國眾多省市采用SVAC標準建設和正在啟動的項目有數(shù)百個,涉及平安城市、智能交通、監(jiān)獄、教育、商業(yè)地產、園區(qū)監(jiān)控等多個行業(yè)領域,一大批試點示范及重點項目均得到成功應用,取得良好的經濟效益和社會效益。


(二)積極支持集成電路產業(yè)創(chuàng)新發(fā)展


一是組織實施“芯火”創(chuàng)新行動,支持集成電路產業(yè)創(chuàng)新發(fā)展,推動有基礎的產業(yè)集聚區(qū)建立創(chuàng)新資源集聚、產業(yè)者培育、創(chuàng)新成果推廣應用、創(chuàng)新企業(yè)孵化等“雙創(chuàng)”平臺,支持信息技術雙創(chuàng)工作,打造智能新生態(tài)。推進電子信息領域制造業(yè)創(chuàng)新中心建設,加快共性關鍵技術研發(fā),推動工程型人才培養(yǎng),增強產業(yè)可持續(xù)發(fā)展能力。二是通過國家集成電路產業(yè)投資基金扶持國內集成電路企業(yè)成長壯大,推動產業(yè)跨越式發(fā)展。截止2017年底,國家基金累計決策67個項目,涉及49家企業(yè),承諾投資約1188億元,實際出資約848億元。同時,國家基金充分發(fā)揮引導與杠桿作用,推動北京、上海、湖北等地設立地方性基金,引導各類社會資本加大投資力度。


(三)推進資本市場制度創(chuàng)新,支持安防監(jiān)控和芯片行業(yè)企業(yè)做大做強


近年來,證監(jiān)會堅決貫徹落實黨中央、國務院的決策部署,穩(wěn)步推進資本市場改革,不斷拓寬資本市場覆蓋面。2016年以來,證監(jiān)會堅決落實依法全面從嚴監(jiān)管要求,健全市場約束機制,優(yōu)化審核流程,實現(xiàn)新股發(fā)行常態(tài)化,審核周期大幅縮短;支持優(yōu)秀企業(yè)通過并購重組做大做強,創(chuàng)新公司債券品種,助力供給側改革,提升資本市場服務實體經濟的能力。


1、截止2018年6月末,安防監(jiān)控產業(yè)和芯片產業(yè)A股上市公司數(shù)量分別為38家和50家。2017年,分別有4家安防監(jiān)控行業(yè)公司、10家芯片產業(yè)公司通過IPO和再融資在資本市場融資,合計募集資金分別約為9.26億元、39.37億元。2018年1至6月,共有4家安防監(jiān)控行業(yè)、6家芯片產業(yè)上市公司實施再融資,合計募集資金分別為23.5億元、38.8億元。


2、2016年、2017年,包括芯片、安防在內的電子產業(yè)企業(yè)分別發(fā)行公司債券219億元和193億元。2017年9月,證監(jiān)會發(fā)布《關于開展創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)公司債券試點的指導意見》,按照《國務院關于加快培育和發(fā)展戰(zhàn)略新興產業(yè)的決定》《中國制造2025》等相關規(guī)劃要求,進一步加大對芯片等關鍵領域創(chuàng)新企業(yè)的支持力度。截至目前共發(fā)行創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)債券65億元。


3、2017年,互聯(lián)網安全行業(yè)領先企業(yè)“360科技”通過重組上市回歸并登陸A股市場,實現(xiàn)科技優(yōu)勢與資本優(yōu)勢充分融合。華燦光電收購MEMSIC及下屬美新半導體,通富微電收購美國AMD半導體公司下屬封裝測試工廠通富超威蘇州、通富超威檳城,提升技術吸收轉化能力,助推自主創(chuàng)新。


4、2018年3月,證監(jiān)會發(fā)布《關于開展創(chuàng)新企業(yè)境內發(fā)行股票或存托憑證試點的若干意見》(以下簡稱《若干意見》),針對符合國家戰(zhàn)略、具有核心競爭力、市場認可度高、屬于互聯(lián)網、大數(shù)據(jù)、云計算、人工智能、高端裝備制造、集成電路、生物醫(yī)藥等高新技術產業(yè)和戰(zhàn)略性新興產業(yè),達到相當規(guī)模的創(chuàng)新企業(yè),支持其在境內發(fā)行股票或存托憑證。為配合《若干意見》的實施,證監(jiān)會制定了一系列的配套制度安排。


(四)加強部際協(xié)調,深入落實制造強國和網絡強國戰(zhàn)略


為更好地支持包括自主創(chuàng)新的安防監(jiān)控和芯片產業(yè)企業(yè)發(fā)展,2017年9月,工業(yè)和信息化部與證監(jiān)會簽署《工業(yè)和信息化部中國證券監(jiān)督管理委員會戰(zhàn)略合作協(xié)議》,協(xié)議以資本市場提升服務實體經濟能力為主線,以促進改革協(xié)調為重點,提出了4個方面、19條合作事項,正式建立兩部委的工作協(xié)調機制。協(xié)議旨在通過健全多層次市場體系、加大股債權融資力度、支持并購重組等政策措施,更好地發(fā)揮資本市場功能,服務制造強國和網絡強國戰(zhàn)略,服務含擁有自主知識產權的重點安防監(jiān)控企業(yè)和芯片企業(yè)等在內的各類實體經濟企業(yè),促進金融與產業(yè)良性互動、協(xié)同發(fā)展,目前,各項合作內容正在穩(wěn)步推進。


二、下一步工作安排


黨的十九大報告提出,要加快建設創(chuàng)新型國家,堅持總體國家安全觀和完善國家安全制度體系,提升國家安全和公共安全。落實十九大報告精神,保障國家安全和國民安全,關鍵之一就是培育具有自主知識產權的安防監(jiān)控企業(yè)和芯片產業(yè)企業(yè)。下一步,國家相關部門將繼續(xù)堅定不移貫徹國家戰(zhàn)略,繼續(xù)支持符合條件的安防監(jiān)控和芯片產業(yè)企業(yè)發(fā)展,為國家安全戰(zhàn)略和現(xiàn)代化國家建設戰(zhàn)略的實施保駕護航。


1、進一步完善部際工作協(xié)調機制、加強信息交流共享,強化業(yè)務對接,穩(wěn)步推進實施協(xié)調機制,確保各項合作落地生根,助力產業(yè)集群形成,促進經濟增長方式和增長動能的轉換,為盡早形成具有我國自主知識產權的視頻監(jiān)控和芯片產業(yè)鏈發(fā)揮應有的作用,切實解決行業(yè)產業(yè)鏈不夠完善、產業(yè)支撐力度不足、核心芯片來源不足的突出問題,全面建設社會主義現(xiàn)代化國家。


2、加大對集成電路設計企業(yè)的支持力度,積極推動國家基金對集成電路設計企業(yè)的支持力度,提升設計環(huán)節(jié)的投入比例。不斷創(chuàng)新方式、方法,優(yōu)化資源配置,加大協(xié)同創(chuàng)新力度,探索揭榜掛帥機制,吸引海外高層次人才回國創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)。繼續(xù)推進電子信息領域制造業(yè)創(chuàng)新中心等機構建設,抓緊“芯火”雙創(chuàng)平臺的組織工作,助力企業(yè)快速成長,逐步建立和完善產業(yè)生態(tài)體系,推動芯片產業(yè)跨越式發(fā)展。


3、持續(xù)推動資本市場改革,提高直接融資比重,支持助力實體經濟發(fā)展的質量變革、效率變革、動力變革。一是繼續(xù)保持新股發(fā)行常態(tài)化,提高審核效率和透明度,支持符合條件的安防監(jiān)控和芯片產業(yè)企業(yè)上市融資;穩(wěn)步推進創(chuàng)新企業(yè)境內發(fā)行股票或存托憑證試點的工作,進一步完善配套制度和監(jiān)管規(guī)則,保障試點工作依法合規(guī)進行,促使已在境外上市的優(yōu)秀企業(yè)回歸境內資本市場,增強資本市場的包容性,把優(yōu)秀企業(yè)留在境內。二是持續(xù)推進并購重組市場化改革,扎實開展“簡政放權”和“放管服”改革,支持信息安全和公共安全領域企業(yè)利用資本市場實現(xiàn)創(chuàng)新發(fā)展,服務實體經濟的供給側改革。三是繼續(xù)穩(wěn)步發(fā)展公司債券市場,拓寬實體企業(yè)融資渠道,繼續(xù)支持符合條件的芯片、安防等電子產業(yè)企業(yè)發(fā)債融資。

來源:電子發(fā)燒友


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