陶瓷盤清洗機-CSE設(shè)備名稱:陶瓷盤清洗機-華林科納CSE設(shè)備外型結(jié)構(gòu)及主要參數(shù) 控制模式: 手動控制模式 自動控制模式。 清洗對象:陶瓷盤 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。 尺寸(參考,詳見圖紙,含地腳):3000 mm(L)× 1500 mm(W)× 2200 mm(H)。 機臺總體結(jié)構(gòu)暫定分為兩部分,機械運行機構(gòu)裝置與機臺前方;機臺前方為清洗工作區(qū)域及機械行走區(qū),機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域,后下方為液路布置區(qū)域。更多半導(dǎo)體設(shè)備可以關(guān)注南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備官網(wǎng)126xa.cn;現(xiàn)在咨詢400-8768-096,18913575037,可立即免費獲取華林科納CSE提供的設(shè)備相關(guān)方案
兆聲波清洗機—華林科納CSE Mega sonic cleaning machine南通華林科納CSE-兆聲波清洗機 適用于硅晶片 藍寶石晶片 砷化鎵晶片 磷化銦晶片 碳化硅晶片 石英晶片可處理晶片尺寸2"-8";可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體 太陽能光伏 液晶等 設(shè)備名稱CSE-兆聲波清洗機類型槽式尺寸(參考)約3500(L)×1350 (W)×2300mm (H)清洗件規(guī)格4” 2籃50片設(shè)備凈重1T運行重量1.5T±10%電源380v 50hz 功率70kw槽體尺寸200mm*400mm*260mm槽數(shù)6個操作方式手動/半自動/全自動適用規(guī)格2英寸-8英寸適用領(lǐng)域半導(dǎo)體、太陽能、液晶等 設(shè)備穩(wěn)定性1、清洗良品率≥99%2、≥0.2um顆粒少于10顆 產(chǎn)品簡介1設(shè)備機架采用不銹鋼骨架外包PP板,耐酸堿腐蝕;2電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部,與濕區(qū)和管路區(qū)完全隔離;3槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料;4機械手探入濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理;5設(shè)備排風采用頂部百級FFU送新風,臺面下抽風,每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋,槽蓋下有單獨的抽風裝置,排風口處設(shè)有自動調(diào)節(jié)風門,即上電打開風門,斷電關(guān)閉風門,具有風壓檢測功能,以及氮氣、壓縮空氣壓力報警功能;6溶液槽中藥液自動供液按設(shè)定好比例混合,并可在工作過程中根據(jù)設(shè)定補液;客戶根據(jù)自身工藝條件自行設(shè)定;7臺面為多孔結(jié)構(gòu),便于臺面上沖洗水、液的排出;8操作面設(shè)有透明PVC安全門;9設(shè)備設(shè)有漏電、急停、液位、過溫、安全門開、漏液、超時等保護和報警裝置,保證設(shè)備的安全可靠;10配備有進口PFA,水、氣槍各一。 更多半導(dǎo)體兆聲清洗...
設(shè)備名稱:晶棒腐蝕機---CSE產(chǎn)品描述: ●此設(shè)備自動化程度高,腐蝕清洗裝置主要由水平通過式腐蝕清洗主體(槽體部分/管路部分等),移動機械傳送裝置,CDS系統(tǒng),抽風系統(tǒng),電控及操作臺等部分組成; ●進口優(yōu)質(zhì)透明PVC活動門(對開/推拉式),保證設(shè)備外部環(huán)境符合勞動保護的相關(guān)標準,以保證設(shè)備操作人員及其周圍工作人員的身體健康; ●機械臂定位精度高; ●整體設(shè)備腐蝕漂洗能力強,性能穩(wěn)定,安全可靠; ●設(shè)備成本合理,自動化程度高,使用成本低;技術(shù)先進,結(jié)構(gòu)合理,適宜生產(chǎn)線上大批次操作. ●非標設(shè)備,根據(jù)客戶要求具體定制,歡迎詳細咨詢!更多半導(dǎo)體清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlcas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導(dǎo)體清洗解決方案。
2設(shè)備構(gòu)成及詳細技術(shù)說明2.1工藝說明 2.2.臺面結(jié)構(gòu)圖如下 3.設(shè)備說明3.1 排風系統(tǒng)?●排風裝置(排風壓力、風量根據(jù)實際情況或客戶要求設(shè)計)將設(shè)備內(nèi)揮發(fā)的有毒氣體抽到車間排風管道或戶外(室外排放遵守國家環(huán)保要求),避免擴散到室內(nèi);?●排風通道內(nèi)設(shè)有風量導(dǎo)流板,從而使排風效果達到最佳;?●本體頂部后方自帶強力抽風1個風道口裝置(每個藥劑槽對應(yīng)一個),排風口直徑大于或等于 200mm 與本體焊成一體;?●排風口處設(shè)有手動調(diào)節(jié)風門,操作人員可根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風量;3.2設(shè)備防護門:?●本體前方安裝有防護隔離門,隔離門采用透明PVC板制成,前門可以輕松開合,在清洗過程中,隔離門關(guān)閉,以盡量改善工作環(huán)境并減小對人體的傷害. ?●形式:上下推拉門。3.3 給排水/廢液系統(tǒng)?●給水管路為一路去離子水;?●給排水排廢接頭均為活性連接;?●排放方式均采用氣動控制的方式來保證安全3.4 電氣控制系統(tǒng)?●采用優(yōu)質(zhì)PLC可編程控制器控制全操作過程, ?●人機界面為觸摸屏,接口中有手動操作、故障報警、安全保護等功能,各工作位過程完成提前提示報警,觸摸屏選用優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品;?●觸摸屏加鎖定,以防非授權(quán)人員修改或設(shè)定參數(shù);?●所有電控部分需獨立封閉,帶抽風系統(tǒng),獨立的配電柜?●設(shè)備照明:設(shè)備其它部位--低電壓燈,根據(jù)工作需要可控照明;?●設(shè)備整體采取人性化設(shè)計,方便操作;并裝有漏電保護和聲光報警提示裝置,保證性能安全可靠;電控部分導(dǎo)線采用耐高溫、耐腐蝕的專用導(dǎo)線,電氣控制部分內(nèi)部還通有壓縮空氣保護,可防水耐腐蝕;?●設(shè)備所有處于腐蝕腔中的線纜均通過PE管進行保護,免受腐蝕;?●設(shè)備具有良好的接地裝置;